Gebraucht CANON FPA 3000 i4+ #9256525 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i4 + ist ein hochmoderner Hochvolumen-Wafer-Stepper, der den strengen Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterherstellungsindustrie gerecht wird. Es besteht aus einer ultrapräzisen optischen Ausrüstung zur Strukturierung von Photomasken auf Wafern sowie einem Mehrzonen-automatischen Ausrichtungssystem, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit über Produktionslose zu gewährleisten. Das Gerät liefert bis zu 175W Beleuchtungsleistung, geeignet für eine anspruchsvolle hochauflösende Abbildung selbst komplexester Muster. Es hat zwei Stufen der optischen Ausrichtung, die jeweils aus drei Achsen bestehen, die genaue dimensionale Registrierungen der Photomaske und des Wafers ermöglichen. Zwei hochauflösende Kameras sind mit Micron-Level-Scan-Auflösung enthalten. Die Wafer-Stufenmaschine verfügt über hochpräzise, stark wiederholbare Messtechnik-Systeme, die automatisches Scannen und Vergleich von Wafer und Maske während der Belichtung beinhalten. FPA 3000 i4 + ist in der Lage, unter 100nm Auflösung Bildgebung, mit einer Best-Case-Auflösung von 80nm. Es verwendet einen fortschrittlichen Multi-Zone-Belichtungsalgorithmus, um eine hohe Ausbeute zu gewährleisten, die durch das integrierte Masking-Overlay weiter verbessert wird. Das mitgelieferte Optik-Tool liefert hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit minimierter chromatischer Aberration und Aberrationen. Es beinhaltet eine automatisierte Wafer-Zuführung für hohen Durchsatz und überlegene Wafer-Handhabung. Der Stepper verfügt auch über ein neues maximales vertikales Bewegungsmodell, das Bewegungen bis zu 20mm ermöglicht und eine 3D-Musterung auf komplexen Wafergeometrien ermöglicht. Dieser fortschrittliche Stepper verfügt auch über eine fortschrittliche Heuristikausrüstung zur reduzierbaren Skalierung, die es ermöglicht, Teile pro Million Defekte zu erreichen. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine individuell programmierte Steuerung ermöglicht, sowie eine Fernzugriffsoption zur Fehlerbehebung und -überwachung. CANON FPA 3000 i4 + ist auf Skalierbarkeit ausgelegt und bietet Verbesserungsfähigkeit, um veränderte Fertigungstechniken und -anforderungen zu erfüllen. Es ist mit einer breiten Palette von Substraten kompatibel und kann Wafer von 200mm bis 450mm Durchmesser handhaben. Es ist eine hocheffiziente und zuverlässige Lösung für anspruchsvolle Waferbearbeitungsanforderungen.