Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #9361809 zu verkaufen

Schritt-CANON FPA 3000 i4 Oblate ist eine hochauflösende, schnelllaufende in der Präzisionshalbleiterfertigung verwendete Steindruckverfahrenausrüstung. Es ist für 4-Zoll und größere Halbleiterscheiben ausgelegt und hat eine maximale Auflösung von 0,25 µm. Es ist auch in der Lage, großflächige Netze mit hoher Geschwindigkeit effizient zu belichten, so dass es ideal für die Serienproduktion ist. Das System basiert auf einer Pre-Aligner-Stufe, die einen Scanschritt verwendet, um Wafer genau zu bewegen. Es kann mit einer Auswahl von zwei Linsen konfiguriert werden: eine 0,6 NA-Linse oder eine 0,7 NA-Linse. Dies bietet eine höhere Auflösung und Bildqualität, so dass Maskenhersteller in ihren jeweiligen Bereichen wettbewerbsfähig bleiben. CANON FPA-3000I4 verfügt zudem über eine Autofokus-Einheit zur präzisen und wiederholbaren Ausrichtung. Diese Funktion stellt sicher, dass jede Maske richtig ausgerichtet ist und dass der Belichtungsprozess konstant genau ist. Die Autofokus-Maschine hilft auch, Ausfallzeiten zu reduzieren, da sie jede Maske vor der Belichtung schnell und effizient einrichtet. Der Stepper enthält auch ein erweitertes Bildgebungswerkzeug für verbesserten Kontrast und hohen Durchsatz. Zu diesem Asset gehört ein fortschrittlicher digitaler Bildprozessor, der den Durchsatz maximiert, indem Vignettierung und Unschärfe korrigiert und der mit der Korrektur von Objektivaberrationen verbundene Overhead verringert wird. Es hat auch erweiterte Rauschreduzierungsalgorithmen, um die Menge an Restbildrauschen zu reduzieren. FPA 3000I4 integriert sich auch in eine Vielzahl von Back-End-Prozessen, wie automatisches Reinigen und Nachbacken. Der Stepper verfügt über zwei drehmomentstarke Wafer-Spinner, die Wafer automatisch drehen und eine präzise und wiederholbare Reinigung ermöglichen. Das Modell verfügt auch über eine Backstation nach der Belichtung, die eine präzise Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle ermöglicht und sicherstellt, dass die Größe der Features über mehrere Läufe konstant bleibt. Schließlich umfasst der Stepper eine fortschrittliche Datenerfassungs- und Analyseausrüstung, die die Ergebnisse von bis zu 25.000 Wafern speichern und analysieren kann. Auf diese Weise kann das System Produktionstrends überwachen, etwaige Anomalien oder Defekte rechtzeitig erkennen und Prozessparameter und Rezepte für eine verbesserte Ausbeute optimieren. Insgesamt ist CANON FPA-3000 I 4 ein zuverlässiger und produktiver Wafer-Stepper, der den anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterlithographie und Elektronikfertigung gerecht wird. Es ist in der Lage, Funktionsgrößen zu produzieren, die deutlich unter 0,25 µm liegen, was es zu einer guten Wahl für hochauflösende Bildgebung und Serienproduktion macht.