Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #9402495 zu verkaufen
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CANON FPA 3000 i4 ist ein 5-Achsen-Wafer-Schrittgerät für fortschrittliche Lithographieanwendungen in der Halbleiterherstellung und -forschung. Es verfügt über einen einzigartigen linearen Beschleunigungs-/Verzögerungsmechanismus sowie eine 9-Achsen-Bewegungsausrüstung zur 3D-Feldkorrektur, wodurch es in der Lage ist, höchste Auflösung in optischen Lithographieanwendungen zu liefern. Die integrierte Bilderzeugungsschaltung und die eingebaute Optik sorgen für eine genaue Ausrichtung der Waferstufe, was zu erhöhtem Durchsatz und Zuverlässigkeit führt. Die automatisierte Ausrichteinheit von CANON FPA-3000I4 verwendet zwei Sätze von automatischen Ausrichtungssensoren, um eine schnelle und präzise Ausrichtung zwischen Maske und Waferstufe zu erreichen. Diese Maschine verwendet Laserdeflektoren und eine Lasersignalschnittstelle zur korrekten Linsenpositionierung und Strahlausrichtung. Darüber hinaus ist dieses Werkzeug in der Lage, eine Vielzahl von Wafertypen zu handhaben, mit Know-how für die Schrittprogrammierung und verbesserte Waferleistung; beides kann zur strukturierten Waferherstellung verwendet werden. Darüber hinaus verfügt FPA 3000I4 über einen 5x Reduktionsscanner, der eine genauere und auflösendere Bildgebung ermöglicht. Seine kompakte Bauweise minimiert den Arbeitsraum und reduziert die Vibrationen und erhöht die Genauigkeit. Darüber hinaus ist FPA-3000 I4 in der Lage, Muster bis zu 20-mal schneller zu erfassen und zu speichern als herkömmliche Maskenschreibstepper. Es bietet auch erstklassige Lithographieoperationen wie Belichtung, Anzeige und Musteroptimierung. Die fortschrittliche Kühlanlage von CANON FPA 3000I4 gewährleistet ein ordnungsgemäßes Wärmemanagement und bietet eine stabile Betriebsumgebung. Dieses Modell verfügt auch über erweiterte Überwachungsfunktionen, wie dynamische Temperaturkorrektursysteme, die die Temperatur basierend auf der Waferbedingung erfassen, messen und anpassen. Durch die Verwendung seiner adaptiven Belichtungsrichtlinie können Anwender selbst in anspruchsvollen Lithographieanwendungen die höchste Ausbeute erzielen. FPA 3000 I 4 ist auch konform mit mehreren Industriestandards, wie SEMI E-170 und SEMI- E-182, und unterstützt akzeptieren/ablehnen Sortierung. CANON FPA 3000 I 4 ist eine ideale Ausrüstung für die Herstellung und Forschung von Halbleitern, da es Anwendern eine fortschrittliche Plattform für die Herstellung von gemusterten Wafern bietet. Es bietet Genauigkeit, Empfindlichkeit, Geschwindigkeit und Effizienz für feste Maske, Serienproduktion und LED-Lithographie-Anwendungen. Mit seinen intuitiven Bedienelementen und den erstklassigen Funktionssätzen bietet dieser Wafer-Stepper den Anwendern alle notwendigen Geräte, die sie benötigen, um ihre Anforderungen an die Halbleiterproduktion voranzubringen.
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