Gebraucht CANON FPA 3000 i5 #293607520 zu verkaufen
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ID: 293607520
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5 ist ein hochleistungsfähiger, optischer Prozessor zur Herstellung von integrierten Großschaltungen. Es ist ein modernster Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um große integrierte Schaltungen (LSIC) mit überlegener Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit zu produzieren. Diese Maschine zeichnet sich durch ihre 5-Achsen-Abtastausrüstung, eine hochauflösende 5 µm-Optik und eine schnelle Abtastgeschwindigkeit von 6 Sekunden aus. Es ist mit Vision Control System-Technologie ausgestattet, die Komponenten der Vision Unit integriert, um eine genaue Ausrichtung und Platzierung von Komponenten auf dem Wafer zu ermöglichen. CANON FPA 3000I5 besteht aus einer universellen Plattform, die eine Reihe von Basiskomponenten wie Optik, Elektronik, Antriebseinheiten und Vision-Systeme bietet. Die Optik umfasst einen Lumicron L i5-L3 Beleuchter, Magnicon L i5-H3, Zeiss Kg-10i5 Objektive, Oriel L7-E3, Lumenatech und einen modularen Illuminator. Diese Optik ermöglicht eine hochgenaue Bildgebung, hochauflösende Inspektion und extrem schnelles Scannen. Die Elektronik umfasst eine Hochgeschwindigkeits-digitale Verarbeitungs- und Steuerungsmaschine, die maximale Genauigkeit und Kontrolle bietet. Die Antriebseinheiten bestehen aus einem hochmotorisierten Schrittmotor, der eine mechanische Einheit zum Abtasten und Positionieren antreibt und eine reibungslose und genaue Verarbeitung ermöglicht. Die Vision-Software ermöglicht eine erweiterte Inspektion und Ausrichtung von Komponenten innerhalb des Wafers. FPA-3000 I5 eignet sich für viele Serienprozesse und Anwendungen. Das Werkzeug verfügt über eine hochpräzise 5 µm-Optik mit weniger als 1 µm Bildverschiebung und -verzerrung, eine Hochgeschwindigkeitsabtastung von 6 Sekunden und eine hochgenaue Ausrichtung für die IC-Produktion. FPA 3000I5 kann Wafer verschiedener Größen verarbeiten, darunter 200 mm, 250 mm, 300 mm und 450 mm. Es ermöglicht auch eine hochgenaue Verarbeitung von Silizium-Wafern mit variabler Overlay-Genauigkeit und Durchsatzleistung. Mit seiner revolutionären Technologie ist dieser Wafer Stepper eine ideale Wahl für komplexe IC-Produktionsanwendungen.
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