Gebraucht CANON FPA 3000 i5 #293615953 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i5
Hersteller
CANON
Modell
FPA 3000 i5
ID: 293615953
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
i-Line stepper, 8" 1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5 ist ein Wafer-Stepper, der eine hervorragende Leistung für fortschrittliche Halbleiteranwendungen bietet. Es nutzt die neuesten Innovationen in den Bereichen Optik, Lithographie und Bewegungssteuerung, um kleinere, präzisere Merkmale als herkömmliche optische Lithographieverfahren zu erzeugen. CANON FPA 3000I5 verfügt über eine präzise ausgerichtete Schrittstufe, die durch Hochleistungs-Schwingspulenmotoren und Präzisions-Wolfram-Linearcodierer angetrieben wird. Dies ermöglicht eine hochgenaue Positionierung von Substraten und Linsen mit hervorragender Wiederholbarkeit. Der Stepper ist in der Lage, eine große Auswahl an Substraten und Linsengrößen zu handhaben. Mit FPA-3000 I5 haben Anwender die Möglichkeit, ihr Mikrolithographie-Setup mit einer Auswahl an optionalen Objektivbaugruppen, Stufenstufen mit einstellbarer Höhe und zusätzlichen Objektiven für große Feldgrößen bis 800 mm Durchmesser einzustellen. Der Stepper verfügt zudem über eine hochauflösende Ausrichteinrichtung, die es dem Benutzer ermöglicht, die Linsen und Substrate vor dem Systembetrieb genau auszurichten. Diese Einheit kann auch die Ausrichtgenauigkeit bei jedem Schritt des Lithographieprozesses überprüfen. Der Stepper bietet eine breite Palette von Beleuchtungssystemen, darunter konventionelle Lichtbogenlampen und fortschrittliche i-line und KrF ArF Excimerlaser. So profitieren Anwender von höherem Durchsatz, besserer Bildauflösung und verbesserten Produktionsprozessen. CANON FPA-3000 I5 ist mit einer Vielzahl von Wafer-Handhabungswerkzeugen wie einem Thewafer-Kassettenlader und einer Robotersubstrathandhabungsmaschine ausgestattet. Es verfügt auch über erweiterte integrierte automatische Wartungsfunktionen, wie Selbstreinigung. Der Stepper bietet eine fortschrittliche Lithographie-Software-Suite mit Software-Tools für Controller, Musterausrichtung, Layout-Verifizierung, mikroskopische Inspektion, Prozessoptimierung sowie Bewegungssteuerung. Die benutzerfreundliche Oberfläche bietet einfachen Zugriff auf diese Funktionen und Funktionen. Darüber hinaus ermöglicht FPA 3000 i5 Benutzern den Zugriff auf eine Vielzahl einzigartiger Funktionen wie automatische Wafer-Identifizierung und -Qualifizierung, Datenprotokollierung und -analyse sowie Temperaturregelung. Das Tool bietet eine umfassende Palette von Berichten und statistischen Daten, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. FPA 3000I5 ist ein robuster und zuverlässiger Wafer-Stepper, der konkurrierende Technologien in der Halbleiterindustrie übertrifft. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und Fähigkeiten bietet das Asset eine überlegene Leistung und höhere Durchsätze als herkömmliche optische Lithographietechnologien.
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