Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #293625346 zu verkaufen
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ID: 293625346
Weinlese: 2001
Stepper, 8"
Wafer type: Notch
Option: Pericle particle checker
Chamber
Projection optics
Illumination system
Reticle alignment
Wafer alignment
XY Stage
Auto-focus
Wafer leveling
Mechanical pre-alignment
TV Pre-alignment
Wafer feeder
Article feeder
2001 vintage.
CANON FPA 3000 i5 + ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für Halbleiterherstellung und bildgebende Anwendungen. Basierend auf einer neuen High-Acceptance-Rate (HAR) -Technologieplattform verbessert sie herkömmliche Wafer-Stepper hinsichtlich Durchsatz, Feldgröße, Kosten und Benutzerflexibilität. Der Stepper verfügt über eine Zweisäulen-Portalstruktur, die Vibrationen und Stellflächen reduziert. Es ermöglicht eine Scanmustergenauigkeit von bis zu 1,1 Nanometer und gewährleistet eine präzise Ausrichtung eines Wafers im Bereich von 100 mm bis 500 mm für eine gleichmäßige Beleuchtung und eine hohe Ausbeute an bearbeiteten Wafern. Das System beinhaltet auch einen doppelschichtigen Kartenkorrekturmechanismus, der Verzerrungen der Wechselphasenschiebemasken (PSM) und binäre Maskenflecken korrigiert. Dies reduziert den Overlay-Fehler und minimiert die Produktionskosten komplexer Geräte. Der Stepper hat einen Durchsatz von bis zu 65 Wafern pro Stunde im Scanmodus und bis zu 85 Wafer pro Stunde im Scan- + Warteschlangenmodus mit seinem i5 + Quad-Core-Prozessor und der Image Logic Control Suite-Software. Seine optomechanische Konstruktion ergibt eine hochgenaue Fokuskorrektur von bis zu 0,2 nm, was zu einer hochwertigen Oberflächengüte führt. CANON FPA 3000I5 + bietet auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie verbessertes Laden und Reinigen, optische Funktionen für überlegene Bildgebung und Sicherheitsfunktionen für Bedienkomfort und Schutz. Der klimatisierte Arbeitsplatz und das fortschrittliche Luftmanagement sowie die verbesserten technologischen Merkmale ermöglichen einen kostengünstigen und geräuscharmen Betrieb. Darüber hinaus umfasst es eine Reihe von Konnektivitätsoptionen wie Remote-Bildaufnahme, OPC- und MES-Unterstützung und Systemüberwachung. Dies bietet eine direkte Integration in bestehende fab-Linien und Systeme, was das System effizienter macht und Kosteneinsparungen gewährleistet. Abschließend ist FPA-3000 I5 + ein fortschrittlicher Wafer-Stepper mit leistungsstarken Fähigkeiten und einem kompakten Design. Es bietet mit seiner neuesten HAR-Technologie einen hohen Durchsatz, Genauigkeit und Ertrag sowie flexible Optionen und Konnektivität, um eine nahtlose Integration in bestehende Systeme zu ermöglichen. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften ist dieser Stepper ein zuverlässiges Werkzeug für hochwertige Halbleiterherstellung und Bildgebung.
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