Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #293815249 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i5+
Hersteller
CANON
Modell
FPA 3000 i5+
ID: 293815249
i-Line steppers.
CANON FPA 3000 i5 + ist ein fortschrittlicher Scan-Stepper, der High-End-Belichtungssysteme für die Herstellung maskenloser Photolithographiesysteme bereitstellt. Es wurde entwickelt, um die Belichtung mit unübertroffener Genauigkeit, Präzision und Geschwindigkeit zu erreichen. CANON FPA 3000I5 + verwendet eine optische Ausrüstung, die eine Gitterart verwendet, die als Gitterarray-Belichtungsmaske bezeichnet wird, um eine genauere und gleichmäßigere Belichtung auf der Bühne zu gewährleisten. Dieses Gitter besteht aus einer Reihe von Mikromustern, die periodisch beabstandet sind, wodurch hochauflösende Bilder ohne Verwischung oder Verzerrung exakt auf die Belichtungsstufe projiziert werden können. Das System verwendet zwei interferometrische Messscanner (IMS), die dazu beitragen, die Genauigkeit der Positionierung der Maske zu gewährleisten, die der Belichtungsstufe ausgesetzt ist. Dies ist besonders wichtig, da schon der geringste Lagefehler zu einem größeren Defekt der fertigen Vorrichtung führen kann. Es stehen zwei Abtastmodi zur Verfügung, die es dem Gerät ermöglichen, verschiedene Arten von Geräteherstellungsanforderungen zu erfüllen. FPA-3000 I5 + verwendet auch fortschrittliche Projektions- und maskenlose Mustertechnologien, wie eine patentierte dielektrische Filmmaskenmustermaschine, die die Genauigkeit der Belichtung und Reproduktionskonsistenz über den Lebenszyklus des Geräteproduktionsprozesses erheblich erhöht. Dies geschieht, indem der Ladezustand des lichtleitenden Bereichs der Projektionsmaske gesteuert wird, was eine präzisere und konsistentere Bildprojektion ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Projektionsoptik ein größeres Scanfeld, das die für eine bestimmte Aufgabe benötigte Belichtungszeit reduziert, was für Serienprozesse von entscheidender Bedeutung ist. FPA 3000 i5 + ist mit einem hohen Maß an Flexibilität und Skalierbarkeit konzipiert, was bedeutet, dass es sich am besten an die sich ändernden Anforderungen des Geräteherstellungsprozesses anpassen kann. Darüber hinaus ist es so konzipiert, dass es kontinuierlich ohne oder mit geringen Stillstandszeiten läuft und gleichzeitig eine präzise, präzise und wiederholbare Belichtung auch auf den am dichtesten besiedelten Oberflächen ermöglicht. Darüber hinaus ist es sehr anpassbar, so dass es an fast jeden vorstellbaren Halbleiterherstellungsprozess angepasst werden kann. FPA 3000I5 + ist von Waferebene zu Komponentensystemen konzipiert, um beispiellose Leistung, Genauigkeit und Geschwindigkeit zu bieten.
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