Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #293817803 zu verkaufen
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ID: 293817803
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.63
Resolution: 350 nm
DCO: 50
Throughput (wph): 100-200.
CANON FPA 3000 i5 + ein Wafer-Stepper ist eine fortschrittliche optische Lithographie-Ausrüstung, die für die Herstellung von sehr empfindlichen Komponenten auf Halbleitersubstraten auf Produktionsebene entwickelt wurde. Es verwendet einen High-End-Stepper, um Substrate mit Submikron-Auflösung fein zu strukturieren. CANON FPA 3000I5 + hat eine hohe Wiederholbarkeit und Präzision, die eine konsistente und genaue Verarbeitung von sehr kleinen Substraten gewährleistet. FPA-3000 I5 + nutzt eine Reihe fortschrittlicher Lithographietechnologien, einschließlich eines Schritt-und-Wiederholungsprozesses für die Belichtungsgenauigkeit, Mirror Aid Imaging (MAI) für verbesserte Bildstabilität und einer patentierten Resistbeschichtungstechnologie für fein abgestimmte Filme. Das System ist auch mit einer Hochleistungs-Xenon-Blitzlampe ausgestattet, die auf eine hochpräzise Linseneinheit abgestimmt ist und eine maximale Lichtintensität und Kante-zu-Kante-Klarheit und Gleichmäßigkeit bietet. CANON FPA 3000 I5 + + verfügt über mehrere zusätzliche Funktionen wie Steuerungssoftware, einen hochgenauen Kantenprofilsensor (EPS) für die Substratkartierung, ein modernes Wandlungsobjektiv mit variabler Steigung zur Abdeckung einer Vielzahl von Belichtungsfeldern, Pellikelschutztechnologie und Temperaturregelung für optimale leistung. FPA 3000 i5 + ist modular konzipiert und kann einfach konfiguriert werden, um spezifischen Anwendungsanforderungen wie Serienanforderungen oder spezialisierten Prototyping-Anforderungen gerecht zu werden. Der Wafer-Stepper ermöglicht es Kunden auch, ihren Stapel zu konfigurieren, um eine hochauflösende Bildgebung und schnelle Durchlaufzeiten zu gewährleisten. CANON FPA-3000 I5 + bietet eine hervorragende Verarbeitungsflexibilität, einschließlich Substrat-zu-Substrat und Stufen- und Wiederholverfahren. Die ausgeklügelte Lithographietechnologie sorgt zudem für eine hervorragende Folieneinheitlichkeit und eine gleichbleibende Produktqualität. Darüber hinaus sind das fortschrittliche Steuerungstool, die computergestützte Diagnose und die umfassenden Servicefunktionen der Maschine eine ideale Lösung für Serieneinsätze oder kundenspezifische Prototyping-Anforderungen.
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