Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #293827690 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i5 + ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen verwendet wird. Dieses Gerät verfügt über eine Reihe von Funktionen und Vorteilen, die umfassen: ein hochauflösendes Ausrichtungssystem, das eine präzise und wiederholbare Ausrichtung jedes Stempels lithographisch belichtet gewährleistet; eine automatische Fokussierungsfunktion, die die Ebenheit der Proben ständig aufrechterhält und einen höheren Präzisionsfokus ohne Benutzeranpassung bietet; eine zusätzliche 2-Achsen-Drehstufe eine feinere Steuerung der Belichtungsdosis und Dosisgleichmäßigkeit ermöglicht; und einen Hochleistungs-8-Wellenlängen-Laser, der Anwendungen mit hohem Durchsatz unterstützt. CANON FPA 3000I5 + kann auch von sehr schnellen Abtast- und Wiederholgeschwindigkeiten profitieren, mit einem maximalen Controller-Jitter von nur 10 Picosekunden. Mit einer verringerten Temperaturschwankung innerhalb des Geräts ist FPA-3000 I5 + in der Lage, die Expositionsdosis über mehrere Wafer konstant und gleichmäßig zu halten. Es bietet eine verbesserte Prozesssicherheit mit einer Verhinderung der Formfehlausrichtung durch Probenverformung. Die ultrapräzise Belichtungseinheit ermöglicht zudem eine bessere Düsen-zu-Düsen-Konsistenz und eine höhere Produktivität. FPA 3000 i5 + verfügt zudem über eine optionale XY-Stufe für zusätzliche Prozesssteuerungsfunktionen. Diese XY-Stufe besteht aus einem leistungsstarken, abgedichteten Lagertyp, der eine präzise Positionierung und Stabilität bietet. Es kann auch die Verwendung von Spin-Master-Geräten unterstützen, die erweiterte Prozesskontrolltechniken wie Fotoresist-Musterabweichung, verbesserte Präzisionsausrichtung und Expositionstests ermöglichen. CANON FPA-3000 I5 + verfügt zudem über ein integriertes, bewegliches Palettendesign, das schnelle Jobwechsel und Waferbelastung ermöglicht. Es erfasst alle erforderlichen Informationen für jede Charge, wie Expositionseinstellungen, Ergebnisse und Präexpositionsrezepte. Mit einem Dual-Display-Touch-Panel kann der Bediener den Prozessstatus, die aktuelle Belichtung und die Rezepteinstellungen gleichzeitig überwachen. Abschließend ist CANON FPA 3000 I5 + + ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für die hochpräzise Prozesssteuerung. Mit seiner hochauflösenden Ausrichtmaschine, dem Autofokus und dem 8-Wellenlängen-Laser ist der 3000 i5 + in der Lage, präzise Belichtungen und wiederholbare Ergebnisse in Anwendungen mit hohem Durchsatz zu erzielen. Durch die Integration einer XY-Bühne und intuitives Werkzeugdesign gewährleistet es eine zuverlässige und genaue Produktion von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen.