Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #293829393 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i5 + ist ein kompakter, mehrstufiger Feld-Photolithographie-Stepper mit einer Auflösung von bis zu 0,2 μ m. Es wurde für den hochpräzisen Mustertransfer auf zahlreiche Wafersubstrate von 5- bis 200-Millimeter-Halbleiterbauelementen entwickelt. Der Stepper verwendet eine Reihe von Spiegeln, Linsen und Filtern, um Muster auf dem Wafer mit UV-Licht zu erzeugen. Das Gerät basiert auf einem fünfstufigen Design mit einer Hauptstufe und vier unabhängigen. Jede Stufe ist mit einem statischen und einem dynamischen Spiegel ausgestattet, der für die motorisierte XY-Steuerung konfiguriert ist. Die Ausrüstung ist in der Lage, eine genaue, wiederholbare Ausrichtung und Belichtung mehrerer Wafer in einem einzigen Lauf mit minimalen Ausfallzeiten. Es bietet auch ein eingebautes motorisiertes Kalibriersystem für konsistente und genaue Belichtungszeiten. Der Stepper kann mit einer Reihe von Objektiven ausgestattet werden, darunter CANON FPA-3003 I-5 +, eine hochauflösende asphärische Linse mit 0,2 μ m Auflösung. Die Einheit kann auch mit einem einstellbaren Bildfeld konfiguriert werden, was eine optimale Belichtung von Mustern mit verschiedenen Größenbereichen ermöglicht. Der Stepper ist mit einer Vielzahl von bildgebenden Werkzeugen kompatibel, wie automatischen Fiducials, Multi-Lign-Sensoren und Air-Float Z-Axis Camera-Systemen. Es bietet auch eine Vielzahl von Genauigkeit und Wiederholbarkeit Funktionen, von +/- 0,1 μ m Schritt-und-Wiederholung bis +/- 5 μ m beliebige Schaltbewegungen. Darüber hinaus unterstützt der Stepper einheitliche Wafer-Halterungen von bis zu zehn Zoll Durchmesser, bietet eine automatisierte Substrataustauschmaschine und ist mit einem Autopositionierwerkzeug für einen leichteren Substratwechsel ausgestattet. Das Asset unterstützt auch eine Reihe von Sensoren, einschließlich automatischer Messung, Line-Edge-Erkennung und Kontrastverbesserungssensoren. Der Stepper beinhaltet auch eine thermische Steuerung und ein Schwingungsreduktionsmodell, das die Temperatur der gesamten Ausrüstung steuert und sie in einem Bereich von + 3 bis + 20 ° C hält. Es bietet auch ein Scannersystem, das Objekte oder Punkte mit einer Auflösung von 0,2 μ m verfolgen kann. Diese Eigenschaften ermöglichen eine hochpräzise Musterübertragung und Wiederholbarkeit. Insgesamt ist CANON FPA 3000I5 + eine sehr vielseitige, mehrstufige Feld-Photolithographie-Einheit mit einem einstellbaren Bildfeld und einer Reihe von Sensoren. Es wurde für den hochpräzisen Mustertransfer auf unzählige verschiedene Wafersubstrate konzipiert und eignet sich für zahlreiche Anwendungen in der Halbleiterbauelementproduktion.