Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #9065380 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
FPA 3000 i5+
ID: 9065380
Stepper Currently deinstalled and stored in cleanroom 2001 vintage.
CANON FPA 3000 i5 + ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der für eine hocheffiziente und präzise Belichtung von 80 mm, 100 mm und 200 mm Wafern entwickelt wurde. Es ist mit der neuesten bildgebenden Optik und fortschrittlicher Technologie ausgestattet, um eine zuverlässige Produktion von hochpräzisen Mustern zu gewährleisten. CANON FPA 3000I5 + ist eine Kerbe über anderen Wafer Stepper-Modellen - der weltweit fortschrittlichste Wafer Stepper genannt. Der Stepper wird durch intelligente Steuerungslogik angetrieben, die eine präzise Musterplatzierung und verbesserte Systemproduktivität ermöglicht. Es ist auch mit einer ausgeklügelten SmartView Iris für Hochgeschwindigkeits-Scan- und Anzeigefähigkeit ausgestattet. Darüber hinaus hilft seine Feldabflachung Linse bei der Verringerung der Restbildverzerrung bei der Ausführung auf großen Wafern, wie die 200 mm Wafer. FPA-3000 I5 + verfügt über eine Reihe von beeindruckenden Eigenschaften für überlegene Genauigkeit in der Wafer-Vorausrichtung und Post-Alignment-Exposition. Das Dual Optics System bietet eine gleichzeitige Belichtung von zwei Wafern, was eine erhöhte Parallelisierung der Produktionszeit ermöglicht. Der Wafer-Stepper verfügt außerdem über ein optisches Design der Ultra High Numerical Aperture (UHNA), das eine Auflösung von bis zu 0,10 Mikrometer ermöglicht. Dies gewährleistet Genauigkeit genug für anspruchsvolle Schaltungsstrukturen mit extremer Bildqualität. Darüber hinaus verfügt FPA 3000I5 + über einen optionalen Edge Scanner, der im Zusammenspiel mit der Iris arbeitet, um automatisch die Kante des Wafers zu erkennen und gleichzeitig die Erkennungsgenauigkeit zu optimieren Schließlich verfügt dieser Stepper über CANON-Exclusive Automated Photomask Process (APP) und bietet eine vollständige Kontrolle über die Bel. Mit dem APP-Modul können Benutzer Photomasken einfach auf verschiedene Waferdurchsatzkonfigurationen einfügen, steuern und inspizieren. Zusammenfassend ist FPA 3000 i5 + der derzeit fortschrittlichste Wafer-Stepper. Das Dual-Optics-System, die UHNA-Optik und der Edge-Scanner bieten überlegene Genauigkeit und bildgebende Funktionen und gewährleisten eine zuverlässige Produktion hochpräziser Muster. Darüber hinaus bietet das APP-Modul den Anwendern eine vollständige Kontrolle über die Postalignment-Belichtung. Durch die Nutzung dieser Eigenschaften von CANON FPA-3000 I5 + können Anwender eine hocheffiziente und präzise Belichtung für 80 mm, 100 mm und 200 mm Wafer erwarten.
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