Gebraucht CANON FPA 3000 i5 #9068403 zu verkaufen
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ID: 9068403
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1999
Fine pattern aligner, 8"
Reticle: 6"
RtL with ACT8 1.5BL (SG 24786)
Console:
HP 715
X-terminal
Auto feeder:
A/F type: Type-VI-L
W/F size: 6" flat
Inline: Yes
Edge exposure: No
Reticle changer: 6"
Library slot no: 12
Option: PPC
Cassette type: Nikon
Wafer stage:
Flat type
Laser interferometer: Zygo 3-axis
Chuck: 6" pin
Illuminator: i-Line Hg lamp
Clean chamber:
Rasco TBW-CD-83
Image rack:
No Part No Description
1 BG4-6632 TV Image CPU PCB
2 BG4-9715 ADP-2 PCB
3 BG9-4084 ACC-1 PCB
4 BG9-4085 ACC-2 PCB
5 BG9-3501 IMP2 PCB
6 BG4-6582 HRD Processing PCB
VME rack:
No Part No Description
9 BG4-6628 CAM UNIT
10 BG3-2462 Main CPU PCB
11 SPARE
12 SPARE
13 BG4-6631 CDIF PCB
14 BG4-6629 Stage CPU PCB
15 SPARE
16 BG4-9217 DSP
17 SPARE
18 BG4-6465 Measurement PCB (X)
19 BG4-6466 Measurement PCB (Y)
20 BG4-6467 Measurement PCB (Θ)
21 SPARE
22 BG4-9175 MLE IF PCB
23 BG4-9191 XY PRE2 PCB
24 BG4-6459 OFCD IF PCB
25 BG4-9151 FZANA PCB
26 SPARE
27 BG4-7937 CCD OPTF CAP2 PCB
200V/3P/28.0KVA , 200V/1P/4.5KVA
1999 vintage.
CANON FPA 3000 i5 ist ein Präzisions-Wafer-Stepper für Hochleistungs-Lithographie und fortschrittliche Mikrofabrikation. Mit einer Feldgröße von 800mm x 800mm ist CANON FPA 3000I5 eine fortschrittliche optische Bildgebungsausrüstung, die eine hochpräzise Strukturierung von bis zu 80nm Auflösung ermöglicht. Das System ist mit einer Vielzahl von Hardware- und Softwarefunktionen ausgestattet, darunter eine Installed Source Deuterium (ISDe) Laserquelle, einen erweiterten Maskenwechsler der Serie, einen neu entwickelten Stufenverstärker und eine maßgeschneiderte Steuerungssoftware. Das Gerät verfügt zudem über eine bildgebende Leistung von bis zu 4K fps und einen motorisierten Positionierer (MP-1400) zum präzisen Scannen sowie einen hochauflösenden 2MP-Monitor zur direkten Betrachtung der Bilder. FPA-3000 I5 ist für fortschrittliche Lithographieverfahren wie MEMS, Halbleiter und Bioherstellungsverfahren konzipiert. Seine hochauflösenden Bildgebungsfunktionen ermöglichen eine verbesserte Genauigkeit und höhere Ausbeuten sowie einen schnelleren Durchsatz. Die integrierte Quelle Deuterium (ISDe) Laserquelle ermöglicht eine Lichtquelle mit einem breiten Spektrum, die mehr Tiefe und Flexibilität in Lithographie-Prozessen bietet. Der neue Maskenwechsler der Serie ist in der Lage, mehrere Belichtungsquellen und Masken zu handhaben und bietet eine höhere Genauigkeit und Flexibilität in den Prozessen. CANON FPA-3000 I5 umfasst auch verbesserte Motoren und Steueralgorithmen für verbesserte Bühnenoszillationen und Scannen sowie einen neu entwickelten Stufenverstärker mit verbesserter Genauigkeit und schnelleren Messzeiten. Die Maschine enthält auch eine maßgeschneiderte Steuerungssoftware, die Flexibilität und Stabilität sowie eine verbesserte Benutzerfreundlichkeit bietet. Dies sorgt für bessere Ergebnisse und genauere Messungen bei gleichzeitiger Minimierung von Ausfallzeiten. FPA 3000 i5 ist mit einer modularen Architektur konzipiert, die eine größere Vielseitigkeit und Flexibilität bei der Arbeit mit unterschiedlichen Anwendungsherausforderungen ermöglicht. Es ist mit einem offenen Rahmen ausgestattet, der die Integration in andere Systeme erleichtert. FPA 3000I5 ist das ideale Werkzeug für eine hochauflösende Musterung mit höchster Präzision und Genauigkeit.
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