Gebraucht CANON FPA 3000 i5 #9194604 zu verkaufen
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ID: 9194604
Weinlese: 1996
i-Line stepper
Console:
EWS: 715/100
Built in console: X-terminal
Auto feeder, 8"
Type 6: Right
PA Type: Flat
Inline
Edge exposure (EBR)
Reticle size, 6"
(14) Library slots
Cassette type: CANON
Option:
BCR: No
CBR: No
PPC,RPC: No
Wafer stage:
Type: Flat
Laser interfermeter: Zygo (No)
Chuck type: 2-Layer pin
Maintenance kit: No
Active mount
Illuminatior: 2kW
Clean chamber:
RASCO /TBW-CD-82
C-Oil level : Normal
UPS: No
Stepper: 3P, 200V, 33kVA
Missing parts:
D-Rack
PCB, P/S
1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der für die fortschrittlichsten Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Diese hochmoderne Maschine verwendet eine einzigartige, innovative Technologie namens Improved Resolution Image Metrology (IRIM), die eine Verbesserung der optischen Leistung um 25% im Vergleich zu anderen Wafer-Steppern bietet. Es verfügt über eine unglaublich hochauflösende bildgebende Ausrüstung, die die genauesten Inspektions- und Inspektionsergebnisse bietet. CANON FPA 3000I5 verwendet einen 5 kW Diodenlaser mit hoher Leistung zur Erzeugung von Bildern der Waferoberfläche, die in der Lage ist, mit einer Auflösung von 5 Mikrometern zu scannen. Das IRIM-System verwendet Laserinterferometer, um das Oberflächenprofil des Wafers zu messen und bietet eine genaue Messung des Profils in einer Tiefe von 1 Mikron. Dies wird erreicht, indem ein diffraktives optisches Element (DOE) verwendet wird, um das Bild in vier Abschnitte aufzuteilen, die dann von der IRIM-Einheit auf höchste Genauigkeit analysiert werden können. Die Maschine nutzt auch eine Auto-Fokus-Option, um die höchstmögliche Genauigkeit der Inspektion zu gewährleisten. FPA-3000 I5 verfügt über ein branchenführendes Präzisionsausrichtungswerkzeug, das Genauigkeit in alle Richtungen bietet, um höchste Qualität der Prüfergebnisse zu gewährleisten. Die Anlage ist mit einer Hochgeschwindigkeits-Drehstufe ausgestattet, die sicherstellt, dass die Ausrichtung innerhalb von 1 Mikron konsistent ist und gleichzeitig eine Genauigkeit von 1,1 Mikrometern aufrechterhält. Es enthält auch ein hochpräzises Antriebsmodell, das bis zu 12 Achsen antreiben kann und die höchste Qualität der Waferausrichtung in der Halbleiterindustrie bietet. Das Gerät umfasst auch eine Vielzahl fortschrittlicher Messwerkzeuge, wie ein patentiertes USB-basiertes System für die Partikelanalyse, eine High-Tech-Aerodynamikwaage und eine leistungsstarke Pinzette für die Entfernung kleiner Partikel. Die Echtzeit-Datenerfassungseinheit ermöglicht eine kontinuierliche Daten- und Graphenanalyse und gibt Benutzern Einblick in den Zustand und die Leistung ihres Wafers. CANON FPA-3000 I5 ist einer der fortschrittlichsten Waferstepper auf dem Markt und bietet beeindruckende Genauigkeit und Inspektionsergebnisse. Mit einer um 25% verbesserten optischen Leistung bietet diese Maschine die bestmögliche Präzision für die heutigen komplexen Halbleiterprozesse. Es ist ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiterunternehmen, die nach höchster Genauigkeit und Ergebnissen suchen.
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