Gebraucht CANON FPA 3000 i5+ #9296955 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i5 + ist ein Wafer Stepper, entworfen, um bis zu 300mm Wafer in einer hochpräzisen Weise zu belichten. Es verfügt über ein 200mm Lens-on-Chip (LOC) -Modul mit einem Anwendungsfeld von 36mm, das eine hochpräzise Belichtung bei einer Auflösung von 5 Nanometern bietet. Der Stepper ist in der Lage, eine breite Palette von Produktion von 6 "bis 300mm, einschließlich LED, MEMS und andere optoelektronische Anwendungen zu bewältigen. Es ist mit einem 3-stufigen Ausrichtungs-Autofokus-Mechanismus ausgestattet, der eine Submikron-Genauigkeit für die Waferausrichtung bietet. Darüber hinaus zeichnet der interne Belichtungsmonitor auch Belichtungswerte bei jedem Belichtungsschuss auf, was ein zuverlässiges Mittel zur Verfolgungssystemleistung bietet. Ausgestattet mit einem Laser interferometer Balkenanordnungseinheit CANON ist FPA 3000I5 + im Stande, jeden Aussetzungsschuss genau auszurichten. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine sensorlose Ausrichtmaschine, die eine effiziente Ausrichtung mehrerer Werkzeuge pro Feld ermöglicht. Dieses Werkzeug bietet auch die Fähigkeit zum Bohren über oder Graben Ausrichtung Fähigkeiten. Insgesamt verbessert FPA-3000 I5 + die Auflösungsleistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Belichtung. Der Stepper bietet auch eine Vielzahl von Optionen für optische und elektrische Wartung. Diese schließen Lampenschalttafeln, collimator Vorstände, Feedbackverstärkerplatten, Stromversorgungsvorstände, Kühlmittelvertriebsvorstände ein und schließen Schalttafeln. Zusätzlich zu diesen Optionen soll das Asset Wafer vor möglichen Schäden durch Exposition und Verarbeitung schützen. Dies geschieht durch die Verwendung einer Überbelichtungssteuerung mit Rückkopplungsmechanismus und Überdosierschutz sowie Fehlererkennungsmechanismen. FPA 3000 I5 + + ist mit Blick auf die Minimierung der Wartung konzipiert und verfügt über insgesamt nur 18 Teile pro Arm, verglichen mit den 25-45 Teilen, die typischerweise für Wafer-Stepper benötigt werden. Darüber hinaus verfügt der Stepper auch über niedrige Betriebskosten sowie einen Ruf für langfristige Performance. CANON, bekannt für ihre Präzisionsoptik, haben auch eine branchenführende Ausrichtungsgenauigkeit von 3 Mikron oder weniger sowie ein Produktionsmodell mit durchschnittlich 166 Wafern pro Stunde entwickelt. Insgesamt ist CANON FPA 3000 I5 + + ein sehr zuverlässiger und präziser Wafer-Stepper, der für die Herstellung hochwertiger Wafer für verschiedene optoelektronische Produktionsanwendungen entwickelt wurde. Mit seinem robusten Design, leistungssteigernden Systemen und Optionen sowie seinen niedrigen Betriebskosten wurde FPA 3000 i5 + entwickelt, um Anwendern eine zuverlässige und präzise Lösung für ihre Produktionsanforderungen zu bieten.