Gebraucht CANON FPA 3000 iW #155018 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 155018
Wafer stepper
Configuration:
Main Unit: FPA-3000
Illuminator: FPA-3000 I line
(2) A Scope (left and right): i-line, TTL
Reticle Stage: 6", Canon STD
(2) Reticle Sender (switching): Canon STD
U-Lens
B Scope: OFF-Axis
C Scope: OFF-Axis
Laser Head: Zygo, HeNe
CCD OPTF
OA Scope: OFF-Axis
Wafer Stage: Flat Stage
(3) Θ/Z-Tilt Unit (L, M, R): Piezo
(4) Support Mount: Passive Damper
Filter (XY Stage): HEPA
Reticle Changer
Reticle Robot: Type IV
Cassette Robot: Type IV
(14) Cassette Library: Canon STD
(4) Intermediate Library: Canon STD
PPC
Wafer Feeder: Type-VI-R
SCH: Type-VI
PA Unit: 8", Notch
SH: Type-VI-R
Lamp house, 2KW
EWS HP-9000 (712/100)
UPS
CD-80 chamber
(5) HEPA ceiling filter (air)
Power receive box, 3 phase, 200VAC
D-rack: Canon STD
Currently in a warehouse
Can be inspected.
CANON FPA 3000 iW ist ein automatisierter Wafer-Stepper für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Das einzigartige Design des Geräts ermöglicht die präzise Ausrichtung einzelner Wafer auf einer Produktionslinie und sorgt für optimale Ausbeute und Genauigkeit in der Waferbearbeitung. CANON FPA 3000IW ist mit einer einzigartigen Transportausrüstung ausgestattet, die ein Servomotorsystem zur genauen Positionierung und Einstellung der Wafer verwendet. Diese Einheit kann verwendet werden, um einen kundenspezifischen Weg durch die Produktionslinie zu schaffen, so dass eine höhere Qualität der Produktion. Das Gerät ist mit bis zu 24 Wafern pro Zyklus mit einer Tragfähigkeit von bis zu 500 Pfund pro Wafer ausgestattet. FPA-3000IW verwendet eine erweiterte Opto-Laser-Ausrichtungsmaschine, um die Ausrichtung jedes Wafers genau zu erkennen und zu identifizieren. Durch die Kombination dieser Technologie mit dem Servomotorwerkzeug kann die Einheit den Wafer mit erhöhter Genauigkeit exakt neu positionieren. Die Anlage ist auch in der Lage, Fehlausrichtungen und kleinere Unregelmäßigkeiten in der Oberfläche des Wafers zu erkennen, was eine höhere Präzision und Integrität beim Umgang mit empfindlichen Wafern ermöglicht. Das einzigartige optische Transportmodell optimiert die Produktion weiter. Das Gerät verfügt zudem über eine Schnellverfolgungstechnologie, die die Produktionskapazität erhöht und eine effiziente und zuverlässige Waferbearbeitung ermöglicht. FPA 3000IW verfügt zudem über mehrere zusätzliche Komponenten, die die Produktionsleistung von Wafern optimieren. Das Gerät ist mit einem pneumatisch betriebenen X-Y Wafer Chuck für verbesserte Stabilität und Genauigkeit ausgestattet. Eine präzise Luftlagerstufe ermöglicht eine präzise Bewegung des Wafers während der Bearbeitung. Zusätzlich hat die Einheit eine temperaturkontrollierte Umgebung durch den direkten Laufwerk Hochleistungsfans aktiviert. Die temperaturgesteuerte Umgebung trägt dazu bei, Wafer-Verschmutzungen und thermische Verzerrungen zu reduzieren. Weitere erweiterte Funktionen wie die Wafer-Inspektion, Kalibrierung und Ätzsysteme sorgen dafür, dass jeder Wafer auf dem höchsten Standard verarbeitet wird. FPA-3000 IW ist ein leistungsfähiger und effizienter Wafer-Stepper, ideal für Produktionslinien, die eine präzise und zuverlässige Waferbearbeitung erfordern. Unter Verwendung fortschrittlicher Ausrichtungs-, optischer Transport- und Temperaturkontrolltechnologien ist das Gerät in der Lage, Produktionsqualitäts-Wafer konsistent und präzise zu produzieren. Mit seiner Hochgeschwindigkeitsleistung, der Schnellverfolgungsausrüstung und der Vielzahl an Sensoren und Zubehör ist CANON FPA-3000IW eine ideale Lösung für jeden Betrieb, der eine präzise, zuverlässige und qualitativ hochwertige Waferbearbeitung erfordert.
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