Gebraucht CANON FPA 3000 MR #293817802 zu verkaufen

CANON FPA 3000 MR
Hersteller
CANON
Modell
FPA 3000 MR
ID: 293817802
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.24 Resolution: 800 nm Throughput (WPH): 100-150.
CANON FPA 3000 MR ist ein anspruchsvoller Wafer-Stepper, der von CANON für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen im Rahmen seiner FAB-Serie entwickelt wurde. Der Wafer-Stepper wurde speziell entwickelt, um den Herausforderungen der fortschrittlichen Photolithographie zu begegnen, einschließlich der Forderung nach immer kleineren Funktionen, schnellerem Durchsatz und höherer Genauigkeit. FPA 3000 MR ist in der Lage, dissoziierte Schichten auf mehreren Wafern gleichzeitig mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von 0,40 Mikrometern und einer Fokustiefe von bis zu 0,5 Mikrometern zu belichten. Darüber hinaus bietet CANON FPA 3000 MR eine schnelle, feine Belichtung auch bei extremen Temperaturschwankungen, da es einen proprietären Mehrfachfokus-Antriebsmechanismus von CANON beinhaltet. Dies sorgt für überlegenen Kontrast und ermöglicht eine breite Palette von Belichtungsformen und -größen. Der Wafer-Stepper verfügt über eine verbesserte Fokussteuerung für hohen Durchsatz, die mittels räumlicher und zeitlicher Rauschanalyse den Fokus im Verlauf einer Belichtungssequenz optimiert. FPA 3000 MR bietet auch zwei Arten von fortschrittlichen optischen Systemen, einschließlich eines High NA (Numerical Aperture) -Systems, um höhere Auflösung und kleinere Normierungsüberschneidungen zu ermöglichen, und eine rückstreuungsfreie und Multi-Stack-Einheit zur Belichtung dichter Muster. CANON FPA 3000 MR hat einen Auflösungsbereich, der bis zu 75nm gehen kann und die Wafergröße, die untergebracht werden kann, ist 175 mm (8-Zoll). Dieser Stepper profitiert auch von der renommierten Präzisionskontrolltechnologie CANON und seiner konkurrenzlosen Prozesserfassungsgenauigkeit. Es bietet Umweltschutz und kann auch mit einer Reihe von Materialien, Formen und Größen sowie einer Vielzahl von chemischen Prozessen verwendet werden, so dass es ideal für eine Vielzahl von Branchen. Darüber hinaus verfügt FPA 3000 MR über eine integrierte Maschine zur Rückverfolgbarkeit, die wertvolle Daten für QS-Prüfungen und Prozessanalysen liefert. CANON einzigartige fortschrittliche Wafer-Handhabungstechnologie, kombiniert mit dem schnellen und genauen Ausrichtwerkzeug, sorgt für hohen Durchsatz, robuste Prozesskontrolle und totale Rückverfolgbarkeit. Insgesamt ist CANON FPA 3000 MR ein fortschrittlicher, sehr vielseitiger und präziser Wafer-Stepper von CANON, ideal geeignet für Industrien, die hohe Genauigkeit, schnelleren Durchsatz, extreme Temperaturschwankungen und hohe Kontrastabbildungen benötigen.
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