Gebraucht CANON FPA 3000 #293828112 zu verkaufen

CANON FPA 3000 ist ein Wafer-Stepper für fortgeschrittene IC-Inspektion und Lithographie. Es ist mit einer zweistufigen, hochpräzisen motorisierten Retikelstufe ausgestattet, die den Durchsatz verbessert, die Genauigkeit erhöht und die Vibrationen reduziert. Die Hochleistungsoptik von CANON FPA-3000 verfügt über ein Sechs-Linsen-Design zur Korrektur von Aberrationen wie Koma, Feldkrümmung, chromatische Aberration und Verzerrung für verbesserte Bildgebungsleistung und Druckgenauigkeit. Der Wafer-Stepper verwendet einen integrierten automatisierten Aligner, um Formelemente zu erkennen und den Wafer auszurichten. Der Aligner ist in der Lage, Funktionen so klein wie ein Viertel Mikron Auflösung zu erkennen, und die Auto-Ausrichtung Funktion kann verwendet werden, um den Wafer mit einer Genauigkeit von bis zu 50 nm auszurichten. Darüber hinaus verfügt der Wafer Stepper auch über ein eingebautes Overlay-System, um eine genaue Rückverfolgung von Waferoberflächen zu gewährleisten. FPA 3000 kann je nach Größe des Wafers bis zu sechs Ziele pro Schuss drucken. Die Druckauflösung beträgt 10 nm und der Stepper ist mit einer wellenlängenabstimmbaren Laserdiode ausgestattet, die eine konsistente Belichtungsintensität aufrechterhält und eine optimierte Ausrichtungsleistung gewährleistet. Um Vibrationen zu reduzieren, ist FPA-3000 mit einem gedämpften Schwingtisch und einer integrierten Isolationseinheit ausgestattet. Der Tisch ist so konzipiert, dass er Vibrationen bei bis zu 0,2 Hz dämpft, während die Isoliermaschine die Vibrationen auf Ausstattungsniveau um bis zu 90% reduziert. Der Wafer-Stepper verfügt auch über eine patentierte, ultra-niedrige F-Wert-3 Objektivlinse, die die Präzision verbessert, indem sie Aberrationen durch interne Linsenreflexionen minimiert. CANON FPA 3000 ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Belichtungswellenlängen zu drucken, von tief ultraviolett (DUV) bis sichtbar (VIS). Es ist mit einem eingebauten Laserpulver für präzise Belichtungsmessung und -steuerung ausgestattet. Der Wafer-Stepper umfasst auch mehrere eingebettete Inspektionsanwendungen, darunter die Messung kritischer Dimensionen (CD), die Fehlerüberprüfung und die Musteranalyse sowie eine Bibliothek mit Algorithmen zur Bildanalyse nach der Lithographie. Insgesamt ist CANON FPA-3000 Wafer Stepper eine leistungsstarke Lithographie-Maschine, die für fortgeschrittene IC-Inspektion und Lithographie eingesetzt werden kann. Zu den fortschrittlichen Funktionen gehören eine zweistufige, hochpräzise motorisierte Retikelstufe, eine automatisierte Ausrichtung für optimierte Druckgenauigkeit, eine wellenlängenabstimmbare Laserdiode und mehrere eingebettete Inspektionsanwendungen. FPA 3000 wurde entwickelt, um präzise Druckergebnisse zu erzielen, und sein eingebauter Laserpulver sorgt für eine präzise Belichtungssteuerung.