Gebraucht CANON FPA 3000 #9145280 zu verkaufen

CANON FPA 3000
Hersteller
CANON
Modell
FPA 3000
ID: 9145280
Weinlese: 1997
Stepper HP-UX Workstation 1997 vintage.
CANON FPA 3000 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um hochpräzise Muster für die Halbleiterherstellung zu erstellen. Mit seinem hohen Durchsatz, der Präzisionsausrichtung und den leistungsstarken bildgebenden Technologien ist CANON FPA-3000 ein ideales Werkzeug für die Herstellung jedes Halbleiters. FPA 3000 bietet mit seiner ABA-Technologie (Automated Beam Alignment) eine unübertroffene optische Overhead-View-Bildgebung. Dieses Gerät verwendet proprietäre Software-Algorithmen, um den Scanner zu führen, was zu verbessertem Durchsatz und genauerer Maskenplatzierung führt. ABA bietet auch eine automatische Fokussierung durch ein Vollfeld-automatisches Fokussierungssystem (AF). Diese Einheit minimiert die Fokusebenenvariation, wodurch die Fokusverschiebung signifikant reduziert wird, was die Bildqualität auf fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen beeinträchtigen kann. FPA-3000 ist auch mit einer automatisierten Kalibriermaschine (ACS) ausgestattet. Das ACS verwendet dreidimensionale Nanoprobing-Sensoren, um bildgebende Parameter wie Position und Kontrast genau zu steuern. Dies ermöglicht eine sehr gleichmäßige Belichtung unter Beibehaltung der Bildqualität über mehrere Schichten hinweg. Darüber hinaus kann es hochfrequente Ausrichtungsfehler infolge von Linsenaberration und dynamischen Frequenzänderungen korrigieren, um Schichten mit kontrastreichen Bildgebungsanforderungen zu entsprechen. CANON FPA 3000 verfügt auch über eine hochauflösende Color Corrected Super High Contrast Mask (CHCM) Funktion. CHCM nutzt spezialisierte Maskentechnologie, um die Rauheit der Kanten deutlich zu reduzieren und die hochpräzise Bildgebung auch bei anspruchsvollen hochentwickelten Halbleiterstrukturen zu erhalten. Zusätzlich ist CANON FPA-3000 mit einem Optical Density Control Mechanism (ODCM) ausgerüstet, der eine Abstimmung der Intensität der Lichtquelle basierend auf dem zu ätzenden Material ermöglicht. Dies erzeugt eine sehr gleichmäßige Mustertiefe und trägt zu einem ertragsstarken, leistungsstarken Bild bei. Schließlich kommt FPA 3000 mit detailliertem technischen Online-Support, um Benutzern zu helfen, das Beste aus seinen Fähigkeiten zu machen. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht einen einfachen Zugriff auf die vielen Funktionalitäten und vereinfacht die Einrichtung und den Betrieb der Maschine. Insgesamt ist FPA-3000 ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der feine, präzise lithografische Muster mit Geschwindigkeit und Leichtigkeit erzeugen kann. Dank seiner fortschrittlichen Bildgebungs- und Autofokusfunktionen ist es eine ideale Wahl für diejenigen, die eine fortschrittliche Bildgebungsleistung für die fortschrittliche Halbleiterherstellung benötigen.
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