Gebraucht CANON FPA 3000 #9152188 zu verkaufen
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CANON FPA 3000 ist ein leistungsstarker, kostengünstiger Stepper, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Die Vorrichtung ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt und kann Fehlerreduzierung und Ausbeute verbessern. Es unterstützt eine Reihe von Technologien, von 3D-gestapelten Chips und eingebetteter Lithographie über Low-K-dielektrische Materialien bis hin zur mehrschichtigen Maskierung. Im Kern ist CANON FPA-3000 ein vollautomatischer Stepper, der mit einem Laserstrahl eine strukturierte Belichtung auf ein Substrat übertragen kann. Es verwendet ein einzigartiges HDR-System (High Dynamic Resolution), das Hochgeschwindigkeits-Musterbilder mit hoher Auflösung für ultraschnelles, artefaktfreies Ätzen liefert. Das Gerät bietet hohe Präzision, hohen Durchsatz und hohe Stabilität. FPA 3000 verfügt über niedrige Betriebskosten und eine breite Palette optimierter Funktionen und fortschrittlicher Technologien stehen für spezifische Kundenanforderungen zur Verfügung. Das Gerät kann in Kundenbedürfnisse und Skalierungsgeometrie integriert werden, wie z. B. ausgeklügelte Abschirmtechniken für die Serienfertigung von SOI-Wafern (Silizium-auf-Isolator) sowie andere anspruchsvolle Anwendungen. FPA-3000 verfügt über eine einzigartige Multi-Pattern Split Exposure Method (MPSE), die komplexe Muster mit verschiedenen Arten von Optik oder Reticles aufnehmen kann. Dies macht es besonders nützlich für die 3D-integrierte Chipherstellung. Darüber hinaus bietet das Image Improvement System (IIS) robuste fehlerfreie Funktionen, die für die Serienreife unerlässlich sind. CANON FPA 3000 hat auch mehrere Möglichkeiten, die Betriebskosten über die Lebensdauer des Systems zu senken. Die Verbrauchskosten werden gering gehalten, indem ein Laserstrahl verwendet wird, der keinen häufigen Austausch erfordert, während der Wartungsaufwand aufgrund seiner Compact Ultraviolet (CUV) -Technologie niedrig gehalten wird, was den regelmäßigen Wartungsaufwand erheblich reduziert. Zusammenfassend bietet CANON FPA-3000 stepper eine hohe Leistung, Kosteneffizienz und eine Reihe fortschrittlicher Technologien, die es zu einer attraktiven Lösung für die Produktion von Hochvolumenhalbleitern machen. Das Gerät bietet hohe Präzision, hohen Durchsatz und hohe Stabilität, die sowohl kleine als auch große Produktionslinien profitieren können. Es verfügt auch über integrierte Funktionen wie MPSE und IIS, die die Gesamtproduktionserträge verbessern können. Darüber hinaus sind die geringen Betriebskosten und der minimale Wartungsaufwand eine attraktive Option für die Halbleiterindustrie.
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