Gebraucht CANON FPA 5000 ES2 #293817781 zu verkaufen
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ID: 293817781
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.68
Resolution: 180 nm
DCO: 35
Throughput (WPH): 65-300.
CANON FPA 5000 ES2 ist ein ultrahochpräziser Wafer-Stepper mit der höchsten Genauigkeit und Auflösung in der Welt. Es ist in der Lage, die Submikron-Muster von Halbleiterbauelementen bei den fortschrittlichsten Geometrien und Designs zu erfassen. FPA 5000 ES2 ist mit CANON proprietären Ultra-High-Resolution Photo Mapping Equipment (UHRM) ausgestattet, die eine präzise Abbildung von 0,25 um (90 nm) Auflösungen mit einer Overlay-Genauigkeit von 0,1 Mikron (30 nm) ermöglicht. Das fortschrittliche Optikdesign und die fortschrittliche hohe Welligkeit der Linsenbeschichtung reduzieren Aberrationen und korrigieren effektiv chromatische und Lrfokusverzerrungen. Das Hochleistungs-LED-Beleuchtungssystem ist eng mit der optimierten Scheibe und dem Rahmen integriert, um präzise Belichtungszeiten, Wiederholbarkeit und optimale Abbildungsergebnisse zu gewährleisten. Die hochpräzisen und zuverlässigen Linearmotoren der CANON FPA 5000 ES2 ermöglichen eine extrem genaue und wiederholbare Mikrobewegung der Waferstufe und Belichtungszeit. Die motorgetriebene Waferstufe ist auf eine Genauigkeit von 0,02 Mikron ausgerichtet und stellt sich automatisch ein, um Genauigkeit und Leistung unabhängig von Änderungen der Spur im Laufe der Zeit zu gewährleisten. FPA 5000 ES2 enthält auch eine einzigartige selbstlernende Steuerung von CANON, die die Eigenschaften von Gerätemustern erkennt und die Belichtung entsprechend optimiert. Diese innovative Maschine ermöglicht eine hervorragende Bildgleichmäßigkeit und überlegene Bildqualität. Der Wafer-Stepper verfügt außerdem über ein fortschrittliches Automatisierungswerkzeug zur Koordinierung der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Software kann in aktuelle Fabriksysteme integriert und an die spezifischen Bedürfnisse der Produktionsumgebung angepasst werden. Insgesamt ist CANON FPA 5000 ES2 das ideale Werkzeug für die Herstellung der kompliziertesten Halbleiterbauelemente und Komponenten. Seine fortschrittlichen bildgebenden Funktionen, Präzisionslinearmotoren und Bewegungssteuerung sowie automatisierte Produktionssysteme ermöglichen es ihm, in anspruchsvollen Szenarien optimale Leistung zu liefern.
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