Gebraucht CANON FPA 5000 ES2+ #9182356 zu verkaufen
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CANON FPA 5000 ES2 + ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation, der für hohen Durchsatz, hohe Genauigkeit und niedrige Betriebskosten entwickelt wurde. Es verfügt über eine großzügige optische Großrahmen-Ausrüstung mit fortschrittlicher Optik, Linsen und optischen Elementen, die eine hochmoderne Ausrichtung und Belichtungspräzision ermöglichen. Das ES2 + verwendet ein fortschrittliches Ausrichtungssystem, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Chargen sicherzustellen, während die neuen Bild- und Maskendatenverarbeitungsfunktionen eine überlegene Flexibilität und Geschwindigkeit der Waferproduktion bieten. Darüber hinaus bietet die ES2 + eine Vielzahl von Substraten, mit On-Board-Robotik für die Handhabung von Rahmen bis zu 850mm Größe. CANON FPA-5000 ES2 + verfügt über eine überlegene Dynamic- Focus™-Technologie, die die Notwendigkeit manueller Fokusanpassungen beseitigt und die Möglichkeit von Bedienungsfehlern beseitigt, unter Beibehaltung des genauesten Lithographie-Fokus. Darüber hinaus verfügt das ES2 + über eine fortschrittliche Inertialausrichtung und eine überlegene standortinterne Optimierung der Belichtungseinstellungen, die eine effizientere Strukturierung komplexer Designs ermöglicht. Die Borddatenabwicklung und Qualitätskontrolle sorgen dafür, dass die aus dem Gerät kommenden Bilder fehlerfrei sind und genau den Vorgaben entsprechen. Das ES2 + verfügt über eine recht intuitive Benutzeroberfläche mit einer Vielzahl von Modi, mit denen Benutzer die Belichtungseinstellungen und andere Parameter feinjustieren können. Insbesondere ermöglicht die Maschine es Benutzern, feine Anpassungen an globalen, lokalen oder stempelbasierten Einstellungen vorzunehmen sowie lithographische Parameter für bestimmte Stempeltypen einzurichten, was in den meisten anderen Wafersteppern nicht verfügbar ist. Darüber hinaus verfügt FPA 5000 ES2 + über eine Reihe weiterer Funktionen, die den Durchsatz und die Genauigkeit verbessern. Das Tool bietet anpassbare Be-/Entlade- und Austauschprozesseinstellungen, die einen verbesserten Produktionsdurchsatz und eine verbesserte Flexibilität ermöglichen. Darüber hinaus unterstützt das Asset erweiterte Bits für eine feinere Auflösung mit einer Musterausrichtungsgenauigkeit von 40nm. Schließlich ist das ES2 + mit mehreren Datenformaten kompatibel, darunter optisch, magnetisch und elektrisch, um die Kompatibilität mit verschiedenen CAD/CAM/CAE-Systemen zu gewährleisten. Zusammenfassend ist FPA-5000 ES2 + ein vielseitiger Wafer-Stepper mit hohem Durchsatz, der eine optimale Leistung und Genauigkeit für eine Vielzahl von Substratmaterialien und -mustern bietet. Erweiterte Ausrichtungs-, Belichtungs- und Datenverarbeitungsfunktionen machen das ES2 + zum idealen Modell für Produktionsprozesse, die hohe Präzision in einem kostengünstigen Paket erfordern.
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