Gebraucht CANON FPA 5000 ES2 #9200128 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES2
Hersteller
CANON
Modell
FPA 5000 ES2
ID: 9200128
Stepper Type: Open.
CANON FPA 5000 ES2 Wafer Stepper ist eine anspruchsvolle bildgebende Ausrüstung. Es wurde entwickelt, um ein hochauflösendes, hochpräzises Muster auf einen einzelnen Wafer zu übertragen. Der Stepper besteht aus vier Komponenten: einer optischen Quelle, einem Projektionslinsensystem, einer Feldlinseneinheit und einem Mustergenerator. Die optische Quelle beherbergt eine Hochleistungslampe, vergrößerte Schlitze und Pixel sowie Quellkondensatoren. Die Projektionslinsenmaschine verwendet mehrere Linsen, die in einem katadioptrischen Werkzeug angeordnet sind, um ein zuverlässiges Projektionsbild bereitzustellen. Das Feld Objektiv Asset besteht aus zwei motorisierten Tilt Rotation Reciprocal Range (TRRR) Bühne. Diese Stufe kompensiert die zylindrische Verzerrung der Waferoberfläche und sorgt für eine genaue Musteranordnung über den gesamten Wafer. Der TTLI-Mustergenerator erzeugt ein binäres Muster, das an das Projektionslinsenmodell übertragen wird. Das Gerät bietet eine maximale Auflösung von 0,34 µm und Mustergrößen bis 22 mm x 22 mm. In Verbindung mit dem Wafer Stepper bietet CANON auch eine Reihe weiterer Zubehörteile wie Feldausrichtungs- und Registrierungssysteme, vibrationsarme Umgebungssysteme und automatisierten Fernbetrieb. FPA 5000 ES2 bietet höchste Präzision und Genauigkeit auf dem Markt. Es wurde in verschiedenen Anwendungen wie der Herstellung von LEDs, Halbleitern und Halbleiterverbindungen verwendet. Es ist eine ideale Wahl für Forschung und Produktion Labors.
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