Gebraucht CANON FPA 5000 ES2+ #9200129 zu verkaufen

Der CANON FPA 5000 ES2 + Wafer Stepper ist eine hochmoderne Lithographielösung, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es ist die neueste Entwicklung der ES2 Serie von Wafer-Steppern und bietet eine verbesserte Bildgebungsleistung und höhere Produktivität. Als prüfungszentrierte Ausrüstung wurde CANON FPA-5000 ES2 + mit einer beeindruckenden Reihe von Funktionen entworfen, um Benutzern zu helfen, ihre Geräteherstellungsziele zu erreichen. Die Scanstufe des FPA 5000 ES2 + ist das Herzstück des Systems und verfügt über einen ultrapräzisen Servoantrieb für die Abtastachse, der eine reibungslose Bewegung bei sehr geringer Winkelbeschleunigung und Geschwindigkeitswelligkeit gewährleistet. Dies bietet eine hervorragende Überlagerungsleistung und Langzeitstabilität bei Überlagerungsmessungen. Das Gerät verfügt zudem über eine große FOV-Fähigkeit (Field-of-View) mit maximalen Flächen bis zu 17 Zoll Quadrat. Mit hohen Scangeschwindigkeiten von 850 Mikrometer pro Sekunde ist es in der Lage, schnellen Durchsatz. Die Optik von FPA-5000 ES2 + kombiniert hohe Leistung und Stabilität. Es bietet eine große Tiefenschärfe (DOF) bei 0,8 µm und eine erweiterte numerische Apertur (NA), die 50 mm erreicht. Es zeichnet sich auch durch eine ausgezeichnete Belichtungsgleichmäßigkeit mit einer Langzeitstabilität (LTS) von 0,2% bei 0,5 ° Neigungswinkel und 50 mW/cm2 aus. Um die Maschine zu vervollständigen, ist CANON FPA 5000 ES2 + mit einer fortschrittlichen Deuterium- und Xenon-Beleuchtungsquelle ausgestattet, die eine überlegene optische Leistung und Stabilität bietet, ohne die Umweltbedingungen zu beeinträchtigen. Es bietet auch ein automatisiertes TOPSENCHECK AXIS-Werkzeug, das eine präzise Probenausrichtung während der Geräteherstellung ermöglicht. Neben seiner beeindruckenden Performance bietet CANON FPA-5000 ES2 + auch hervorragende Funktionen zur Wartung und Dokumentation von Vermögenswerten. Es enthält eine exquisite SmartScope-API in Echtzeit, mit der Benutzer Mikroskopkomponenten anzeigen, überwachen und steuern können, während das integrierte SEM-Softwarepaket (Scanning Electron Microscopy) die Anzeige und Beobachtung von Querschnittsdaten für die Prozessanalyse erleichtert. Alles in allem ist FPA 5000 ES2 + ein fortschrittlicher Wafer-Stepper mit einer verbesserten Suite von Bildgebungs-, Leistungs- und Wartungsfunktionen für die Herstellung von erweiterten Halbleiterbauelementen. Mit seiner hochmodernen Technologie ist FPA-5000 ES2 + einer der zuverlässigsten Waferstepper für hochauflösende Bildgebung, Langzeitstabilität und hohen Durchsatz.