Gebraucht CANON FPA 5000 ES2 #9273145 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES2 ist ein hochauflösender Wafer-Stepper mit 65-nm-Auflösungsfähigkeit. Es ist eine Immersion Typ Trockenschrittausrüstung, die eine UV-Lichtquelle emittiert im Verteiler von 240nm verwendet. Es ermöglicht die Mikrofabrizierung von Transistoren, Kondensatoren, Dioden und anderen Halbleiterbauelementen mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit. Das System unterstützt auch die Overlay-Ausrichtung mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von ± 1.2nm und eine Wafer-Positionierungsgenauigkeit von ± 1.2nm. Dieses Gerät enthält eine Mask Alignment Machine (MAS), eine 4K CCD Kamera mit einem 564mm Sichtfeld und eine Precision Stage. Der MAS hat ein optisches Layout vom Immersionstyp für eine hochauflösende Musterung mit einer maximalen Größe von 519,2 mm x 529,2 mm. Es bietet optimierte Bildgebungsleistung und hervorragende Stabilität für die Serienproduktion. Die 4K CCD-Kamera bietet einen erweiterten Dynamikbereich, um eine überlegene Bildgenauigkeit und einen höheren Maskenkontrast zu erzielen. Die 4K CCD-Kamera hat eine sehr geringe Rauschcharakteristik, wodurch die Menge der zu speichernden Daten reduziert und gleichzeitig eine hervorragende Auflösung bereitgestellt wird. Die Precision Stage bietet eine schnelle, präzise und hochzuverlässige Engineering-Plattform für Feinausrichtung und präzise Mikrofabrikation. Es bietet die maximale Auflösung von 5 nm für ultrapräzise Musterung. FPA 5000 ES2 kommt mit Smart Exposure Control (SEC), um Wiederholbarkeit zu gewährleisten und einen hohen Durchsatz zu erreichen. Es hat auch einen anpassbaren Layout-Optimierungsfaktor, um die Fähigkeit zu verbessern, Fehler oder Fehler in der Maskenmusterung zu erkennen. Das Tool ist einfach zu warten und verfügt über ein integriertes Auto-Sensing-Asset, das die Verarbeitung optimaler Belichtungseinstellungen automatisiert. Es kann von mehreren Benutzern gleichzeitig bedient werden, wobei jeder Benutzer seine Einstellungen anpassen kann. Die Maschine bietet auch automatische Verkleidung und Reparatur von Test und Produktion Drucke. Es verfügt über einen Vollfarbansichtsmodus und einen Echtzeit-Overlay-Modus zur genauen Auswertung von Retikle-Mustern und kleinen Gerätekomponenten. Eine Reihe von Hardware- und Software-Updates sind auch für verbesserte Sicherheit, maximale Benutzerfreundlichkeit und die Fähigkeit, die fortschrittlichsten Produktionsherausforderungen zu bewältigen.