Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #293592110 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
FPA 5000 ES3
ID: 293592110
KrF Scanner.
CANON FPA 5000 ES3 ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation, der hervorragende Genauigkeit und Durchsatz für hohe Serienproduktion bietet. CANON FPA 5000ES3 verwendet ein fortschrittliches Scanmuster und eine präzise Motorsteuerung, um selbst die empfindlichsten Wafer mit minimalen Vorspannungen oder Aberrationen schnell über die Belichtungsebene zu bewegen. Der Stepper ermöglicht eine hohe Vergrößerung und große Belichtungsfelder, die für die Freilegung kleinerer, komplizierterer Transfermasken von entscheidender Bedeutung sind. FPA-5000 ES3 verfügt über eine ausgeklügelte Steuerungsausrüstung, die verschachtelte variable Blöcke verwendet, um den Durchsatz zu maximieren und die Genauigkeit zu erhalten. Das Kontrollsystem sorgt für Makrobelichtung sowohl in festem Muster als auch in variabler Feldplatzierung, um Rauschen zu reduzieren und höhere Erträge zu erzeugen. CANON FPA-5000 ES3 verfügt über ein erweitertes Lichtfeld für größere Scans, wodurch die Fehlerquoten gesenkt werden können. Der Stepper ist in der Lage, eine konsistente Autofokus-Handhabung zu ermöglichen, indem er nicht-PDF-basierte Algorithmen verwendet, um eine kontinuierliche Fokusgenauigkeit zu gewährleisten. FPA 5000ES3 umfasst auch Hochleistungsoptiken, die auf einer Präzisionsstufe montiert sind, die sowohl stabil als auch stark wiederholbar ist, um eine präzise Ausrichtung und Belichtungsregistrierung zu erreichen. CANON FPA 5000 ES 3 verfügt über eine fortschrittliche Waferbelichtungseinheit, die Auflösungen bis zu 0,25 Mikrometer mit Linienbreiten bis zu 0,25 Mikrometer erreichen kann. Der Stepper verfügt über eine 4k-Line-Pitch-Belichtungsfähigkeit, die eine schnellere und präzisere Übertragung ermöglicht, mit einem erweiterten Darstellungsbereich, der unerwünschte Lichtdiffus reduziert. FPA 5000 ES 3 nutzt eine automatisierte Anpassung der Ausrichtung und Belichtungslücke, um falsche Fehler zu reduzieren und die Überlebensfähigkeit der Retikel zu verbessern. FPA 5000 ES3 verfügt über eine fortschrittliche Verschlussmaschine, die der Belichtung in einer Lichtumgebung mit hoher Intensität standhalten kann und eine präzise Belichtungszeit und Intensitätssteuerung ermöglicht. Der Stepper ist mit einem hochmodernen Werkzeug zur Fehlerinspektion ausgestattet, mit dem potenzielle Fehler aus freiliegenden Wafern identifiziert werden können. Um Zuverlässigkeit und Langlebigkeit zu gewährleisten, ist CANON FPA 5000 ES3 aus feinsten Materialien aufgebaut und umfasst eine Filtrations- und Wartungsanlage, um eine optimale Leistung über den Lebenszyklus der Maschine zu gewährleisten. Die Präzision und die fortschrittlichen Fähigkeiten von CANON FPA 5000ES3 es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Produktion von Wafern mit hohem Volumen und Präzision machen. Mit seiner optimierten Leistung, dem überlegenen Durchsatz und den überlegenen Fehlererkennungsfunktionen ermöglicht FPA-5000 ES3, mit minimalem Abfall niedrigere Zykluszeiten und -kosten pro Gerät zu erzielen und so eine ideale Lösung für fortschrittliche und kostengünstige Waferbearbeitungsanforderungen zu schaffen.
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