Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #293609498 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES3 ist ein Wafer-Stepper, der hochpräzise Photolithographie für die Mikrofertigung verwendet. Es ist eine modulare Ausrüstung, die für spezifische Anwendungen angepasst werden kann und einen hohen Ertrag und Durchsatz mit ausgezeichneten Gesamtbetriebskosten bietet. Die Hauptkomponenten des Systems sind der Schrittkern, die Hauptstufe, die Retikelstufe, die Belichtungseinheit und der Trockner/Beschichter. Der Schrittkern besteht aus einer Microstepper-Plattform und einem LCD-Mikrodisplay (Liquid Crystal Device), mit dem der Benutzer das Bild auswählen und anzeigen kann. Der Schrittkern ist zudem mit einem hochauflösenden Encoder ausgestattet, um eine präzise Waferausrichtung zu ermöglichen. Die Hauptstufe hat zwei hochauflösende Antriebsachsen zur Waferausrichtung und Positionierung. Es verfügt über eine ultra-hochpräzise Luftlagerstruktur, die die Genauigkeit weiter erhöht. Die Hauptstufe hat auch einen eingebauten automatisierten Lader und eine Umweltkammer, um die Maschine vor Umweltschwankungen zu schützen. Die Retikelstufe hat zwei Linearmotoren für eine glatte und präzise Bewegung des Retikels in X-, Y- und Z-Richtung. Es ist mit einer Hochleistungs-Laserdiode für eine optimale Laserausrichtung ausgestattet. Der Retikelhalter ist auf optimale Ablenkstabilität ausgelegt und eliminiert Retikeleffekte. Das Belichtungswerkzeug ist mit einer isotropen Plasmaquelle zur Hochgeschwindigkeitsbeleuchtung und einer zirkular polarisierten Beleuchtungseinrichtung für verbesserte Bildqualität ausgestattet. Es verfügt auch über erweiterte Steuerungssysteme und Software für Waferausrichtung und Bildgebung. CANON FPA 5000ES3 enthält auch ein Trockner/Beschichtungsmodell, das direkten Druck und Vakuum verwendet, um Photolack auf den Wafer zu beschichten. Das Trockner/Beschichtungsgerät ist temperaturgeregelt und sorgt für eine gleichmäßige Beschichtung und Trocknung. Insgesamt ist FPA-5000 ES3 ein hochpräziser Wafer-Stepper, der hohe Ausbeute, Durchsatz und ausgezeichnete Gesamtbetriebskosten bietet. Sein modulares Design ermöglicht eine einfache Anpassung und Aktualisierung, während seine fortschrittlichen Steuerungssysteme und Software eine präzise Fotolithographie-Bildgebung und Retikle-Ausrichtung ermöglichen.