Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #9123442 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper ist eine hochpräzise optische Lithographie-Maschine zur Herstellung kleiner, präziser elektronischer Komponenten. Dieses Schrittmodell verwendet ein erweitertes Scanbeleuchtungssystem, um ein Muster auf einer Photomaske oder einem Retikel optisch auf einen Wafer zu übertragen. Die Maschine hat eine lange Arbeitstiefe im Fokus und verfügt über eine Größe von 0,50 bis 5 Mikrometer und eignet sich somit perfekt für integrierte hochdichte Schaltungen (ICs), mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) und andere fortschrittliche elektronische Komponenten. Die FPA-Plattform bietet eine große Arbeitsfläche von 450mm x 450mm und kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll handhaben. Dieser fortschrittliche Stepper hat eine verbesserte Gleichmäßigkeit von 4,5 Mikrometer oder besser und eine maximale Vollfeldbestrahlung von 2000 mW/cm2. Darüber hinaus bietet es einen variablen Fokusraum von 10-30 μ m mit einer genauen Fokustiefe von ± 1 μ m und einem kleinen Fleckdurchmesser von 5 μ m oder weniger. Es enthält auch einen hocheffizienten Diffusor, der den Photomasken-Abbau minimiert. CANON FPA 5000ES3 Wafer Stepper wurde für den Einsatz in Serienumgebungen entwickelt und bietet eine höhere Produktivität und reduzierte Zykluszeiten. Die Maschine verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-F & E-Belichtungsmodus, mit dem Anwender Geräteprototypen schnell und einfach entwickeln können. Es verfügt auch über einen massiven On-Board-Speicher, der bis zu 60.000 Wafer-Muster und 500 Reticles speichert. Dieses Schrittmodell verwendet fortschrittliche automatische Ausrichtungsprozesse, die konsistente und genaue lithografische Ergebnisse gewährleisten. FPA-5000 ES3 Wafer Stepper wurde sowohl für kostengünstige Produktion als auch für extrem hohe Präzisionsanwendungen entwickelt und bietet ein Gleichgewicht zwischen Leistung, Zuverlässigkeit und Kosten. Es verfügt über eine robuste und zuverlässige Plattform mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und umfassenden Wartungs- und Sicherheitsfunktionen. Dieses Schrittmodell unterstützt auch die vollständige Automatisierung von Belichtungs-, Inspektions- und Messsystemen für erhöhte Genauigkeit und Verifikation. Darüber hinaus bietet es eine komplette Reihe von Engineering-Tools wie einen Rezeptwandler, Parameter-Manager, parametrische Ausrichtungen und einen Lithosimulator.