Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #9200130 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES3 ist ein hochmoderner Halbleiter-Wafer-Stepper, der auf die Anforderungen einer Vielzahl von Waferproduktionsanforderungen für integrierte Schaltungen (IC) ausgelegt ist. Dieser Stepper verfügt über eine Substratgröße von 300 mm und bietet einen hohen Durchsatz für eine erhöhte Gesamtleistung von Wafern. Mit Scanfeldgrößen bis 18mm x 18mm bietet CANON FPA 5000ES3 hochauflösende Bildgebung für komplexe und hochdichte Schaltungsmuster. Dies ist besonders vorteilhaft für die Herstellung von Mixed-Logic-Geräten und fortgeschrittenen Speicherdesigns. Die fortschrittliche Optikausrüstung des Steppers verfügt über einen optischen Säulenvergrößerungsbereich von 5x, 10x und 20x, mit 1,35 nm minimalen Linienbreiten, die bei der längsten Säulenkonfiguration erreicht werden können. FPA-5000 ES3 verfügt über eine erweiterte Tiefenschärfekontrolle (DOF) mit ½ Mikrontiefe, die durch seine ausgeklügelten Dual-Monte-Carlo-Algorithmen ermöglicht wird. Dieser Stepper ist auch für maximale Betriebszeit und Produktivität ausgelegt. Es verfügt über ein „no-time-lost“ Failover-System mit einem „follow-on“ Beleuchtung und Schattensensor, die es ermöglichen, eine andere Operation an ihren Platz im Falle einer Störung. Der Stepper enthält eine Reihe von Sehsensoren zur genauen Ausrichtung von Wafern und zur Korrektur der Belichtungszeit sowie eine zusätzliche Inline-Inspektionseinheit zur Erkennung latenter Fehler während des Belichtungsprozesses. CANON FPA-5000 ES3 ist in der Lage, mehrere Wafertypen wie Silizium-auf-Isolator (SOI), Silizium-auf-Glas (SOG) oder eine beliebige Kombination davon zu verarbeiten. Darüber hinaus weist der Stepper Merkmale auf, die empfindliche Wafer schützen, beispielsweise eine fortgeschrittene Schwingungsisolierung des Belichtungskopfes, die ein schwingungsinduziertes Versagen bei der Belichtung verhindert. Diese Ausrüstung ist mit einfacher Wartungsfreundlichkeit und schneller Wartung im Auge entworfen. Der direkte Zugriff auf alle Komponenten und leicht austauschbare Teile ermöglichen eine schnelle und zuverlässige Wartungszeit von bis zu 50 Prozent. FPA 5000 ES3 ist ein fortschrittlichster Wafer-Stepper für die anspruchsvollsten und fortschrittlichsten Anforderungen an die Waferproduktion. Mit seiner fortschrittlichen Optikmaschine, fortschrittlicher Freiheitsgradkontrolle, der Fähigkeit, mehrere Wafertypen und Servicefunktionen zu verarbeiten, ist FPA 5000 ES 3 eine ausgezeichnete Wahl für IC-Produktionsanlagen.