Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #9200131 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper ist eine hochwertige, vollautomatisierte optische Lithographie-Produktionsanlage, die den Anforderungen der modernen Hochleistungs-Chip-Herstellung gerecht wird. Ausgestattet mit fortschrittlicher Bildverarbeitungsoptik, hoher NA-Beleuchtung und ausgeklügelten Steuerungssystemen kann die ES3 selbst die komplexesten Schaltungen auf Standard-Substratgrößen bis zu 150mm (6 Zoll) strukturieren. CANON FPA 5000ES3 verwendet ein Mehrfeldbildprojektionssystem, um den gesamten Wafer schnell seiner roten Diodenlaserlichtquelle auszusetzen. Bilder können aus einer internen Bibliothek programmiert und abgerufen oder von außen importiert werden. Mehrdimensionale Heftalgorithmen gewährleisten eine nahtlose Waferabdeckung. Bei einer Auflösung von bis zu 5 Mikron kann das ES3 verschiedene Belichtungsstufen von Retikelgrößen bis zu Subretikelgrößen erleichtern und Produktionsingenieuren höchste Flexibilität bieten. FPA-5000 ES3 kann jeden Wafer genau ausrichten und positionieren, so dass komplexe Linien und Formen in jedem Winkel bezüglich der Kanten des Wafers exakt erzeugt werden können. Mit der bordeigenen 6-Achsen-Randfeldausrichteinheit können Prozesse wie Katzenaugenausrichtung, Stufen- und Wiederholungsmusternähung oder Maskenmusternähte mit großer Präzision durchgeführt werden. Das ES3 ist in der Lage, Wafer mit verschiedenen Materialien zu belichten und kann verschiedene Filmformate wie Positivtonresist, Negativtonresist, direkte UL-Lithographie, On-Wafer-Messtechnik und direkte Ionenimplantation aufnehmen. Zur kontinuierlichen Bearbeitung mehrerer Wafer gleichzeitig sind zwei Waferstufen vorgesehen. Die vollautomatische Steuerungsmaschine von FPA 5000 ES3 ist mit Diagnosezählern, Überwachungssystemen, einem Großrechner für Datenspeicherung und -ausgabe sowie Online-Fehlerdiagnosefunktionen ausgestattet. Darüber hinaus ermöglicht ein Netzwerk-E/A-Tool die Fernbedienung und Datenerfassung von überall auf der Produktionsfläche. All diese Funktionen und Funktionen bedeuten, dass CANON FPA 5000 ES 3 eine maximale Auflösung von 5,0 Mikrometern, ein großes 5-Zoll-Tan-Fenster und eine perfekte Optik bieten kann. Darüber hinaus ermöglichen die vielseitige Steuerung, die Roboterautomatisierung und das Spektrum an Belichtungsformaten es dem ES3, Wafer auf höchstem Niveau schnell und präzise zu verarbeiten und sind damit die perfekte Lösung für die Hochleistungs-Chipherstellung.