Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #9272923 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9272923
Stepper, 8"
Linux console
Clean chamber
JBL Side main piping unit missing
Touch screen display: Front and rear
Keyboard: Front and rear
Mouse: Front and rear
Auto feeder:
Type: R Type
Inline
Wafer type: Flat
No Relay unit
Reticle changer, 6"
Options: PPC, BCR
NIKON Cassette
Wafer stage: Pin chuck
Krf Line illuminator: 248 nm
Switchboard
Hard Drive Disk (HDD)
Missing parts:
MBX/MBX-CD PCB BG3-3868
UL-CD3 PCB BG3-7525
Excimer laser
AS-CAMERA-R BM5-7973
AS-CAMERA-L BM5-7973
Work station
2001 vintage.
CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper ist eine moderne Lithographie-Ausrüstung, die für die fortschrittliche Halbleiterherstellung verwendet wird. Das System verfügt über eine zweistufige Translationsstufe, die den Durchsatz erhöht und eine präzise Ausrichtung der Belichtungskassette ermöglicht. CANON FPA 5000ES3 die Konstruktionsmerkmale einer Massively Parallel Exposure (MPE) -Einheit mit sechs CANON CCD-Sensoren und einem hochauflösenden Belichtungsfenster integriert. Das Belichtungsfensterdesign ermöglicht eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen einschließlich der Herstellung von Hochleistungs-integrierten Chips für Unterhaltungselektronik. FPA-5000 ES3 bietet eine maximale Vergrößerung von bis zu 5000x, mit einer Auflösung von bis zu 0,25um. Es verwendet acht Linsenkonfigurationen, einschließlich alternativer Belichtungsoptiken wie konvexe, konkave und Multif-Indexlinsen. Spezielle Beleuchtungsquellen, wie z.B. Point-Light-Musterung, können auch für Konstruktionsvariationen verwendet werden. Die Maschine verfügt auch über einen hochempfindlichen Schalungsmechanismus, um eine gleichmäßige Belichtungsintensität über alle Schüsse zu erreichen. Das Tool ist mit einem erstklassigen Bildverarbeitungsgerät ausgestattet, das eine Vielzahl von Bildoptionen bietet. Die Software verwendet fortschrittliche Technologien, um Lichteffekte anzupassen, Photopatterns anzuwenden und andere Anpassungen vorzunehmen, um die Bildgenauigkeit und Konsistenz zu verbessern. Die Software bietet auch eine Bilddatenbank, mit der Benutzer Muster, Rezepte und andere Ausführungseinstellungen speichern und anzeigen können. CANON FPA 5000 ES 3 unterstützt eine Reihe fortschrittlicher lithographischer Anwendungen, darunter Deep UV, EUV und Röntgen. Es ist auch mit einer Vielzahl weiterer Funktionen ausgestattet, darunter eine hocheffiziente Luftlagerstufe, integrierte CPU und RAM sowie Hardware-/Softwarekompatibilität mit CANON erweiterten Wafer-Stepper-Systemen. Dieses Modell wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen zu erfüllen und ist somit ein leistungsstarkes Werkzeug für jeden Halbleiterhersteller.
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