Gebraucht CANON FPA 5000 ES4 #9282327 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES4 Wafer Stepper ist ein Stück fortschrittliche Halbleiter-Lithographie-Ausrüstung. Dieser Stepper wurde für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt und verwendet fortschrittliche Projektionsoptiken und Halter, um eine Vielzahl von Waferformen und -größen zu unterstützen. Das ultra-niedrige Laserreflektivitätsdesign sorgt für überlegene Bildqualität und verbesserte Bildgebungsgenauigkeit, während seine extrem schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeit Zykluszeiten reduziert, die Durchsatzeffizienz erhöht und die Gesamtkosten senkt. CANON FPA-5000 ES4 bietet dank seiner außergewöhnlichen numerischen Apertur (NA) von .83 hervorragende Strukturierungsmöglichkeiten, die eine große Tiefenschärfe und eine verbesserte Prozessbreite ermöglichen. Seine große Feldgröße von 9 "(228,6 mm) bietet Flexibilität für die Waferbearbeitung, während seine 1/6 Millisekunde Belichtungszeit für hohe Auflösung und Durchsatz für kleinere Funktionen bis zu 0,33 µm sorgt. Der Stepper sorgt dank seiner präzisen On-Axis-reduzierten Lenkausrüstung für Wiederholbarkeit und eine präzise Ausrichtung des Wafers auf die Projektionsoptik. Darüber hinaus umfasst das System eine integrierte Vakuumeinheit zur Reduzierung der Flanschbelastung und Handhabung dünner Substrate. Die Maschine verfügt über eine Vielzahl von Automatisierungsoptionen und Fähigkeiten, wie einen integrierten Waferlader und Stapler, sowie vollautomatische Wafer-Abruf und Bewegung. Seine fortschrittliche Hubretikelstufe bietet eine Reihe von Ausrichtungsfunktionen für verbesserte Geschwindigkeit und Genauigkeit der Retikelplatzierung. Das Tool ist auch leicht mit einer Reihe von zusätzlichen optionalen Komponenten aufrüstbar, wie einem fortgeschrittenen OCR Air Scanner, der hochpräzise Messungen über eine Reihe von Wafergrößen bietet. Schließlich verfügt FPA-5000 ES 4 über erweiterte Sicherheitsmerkmale, wie einen Notstopp, um den Laserbetrieb bei einem unvorhergesehenen Zwischenfall abzuschalten. Es umfasst auch eine leistungsstarke Überwachung der elektrischen, mechanischen und Umgebungsbedingungen im und um den Stepper und bietet eine sichere, äußerst zuverlässige Verarbeitungserfahrung. Darüber hinaus ist die Anlage für den globalen Einsatz zertifiziert und erfüllt alle geltenden Sicherheitsstandards.