Gebraucht CANON FPA 5500 iZ+ #293827280 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZ + ist ein High-End-Wafer-Stepper, der von CANON für die Präzisionslithographie bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Mit seiner ultrapräzisen Positionsgenauigkeit, dem großen PS-Motor und der projizierten Lichtquelle kann er die Positionierung und Beleuchtung des Substrats streng kontrollieren und gleichzeitig überlegene Übertragungseigenschaften des gewünschten Musters bereitstellen. Der FPA iZ + verfügt über einen leistungsstarken, langlebigen Motor und erzeugt eine hochpräzise Positionierung des Wafertisches. Dieser fortschrittliche Motor ist in der Lage, die Bewegung des Wafertisches auf eine hohe Genauigkeit mit einer Wiederholbarkeit von 6:1 zu steuern. Der Motor bietet auch eine breite Palette von Positionseinstellungen, die eine genaue Handhabung von Unregelmäßigkeiten auf den Substratoberflächen ermöglichen. Der Motor bietet zudem eine hohe Geschwindigkeit von bis zu 20 ms/Schritt, was eine schnellere Strukturierung und einen höheren Durchsatz für einen bestimmten Prozess ermöglicht. Das iZ + verfügt zudem über eine stabilisierte projizierte Lichtquelle. Dieses System projiziert eine Lichtquelle, die ständig angepasst wird, um die Erzeugung von Aberration zu verhindern, so dass der Stepper hochauflösende Muster genau auf die Oberfläche des Substrats übertragen kann. Die projizierte Lichtquelle reduziert auch das Vorhandensein von Streustrahlen und Beugung, was eine hochgenaue Übertragung des gewünschten Musters ermöglicht. Der FPA iZ + sorgt auch über das aktive Stabilisierungsmodul für eine überlegene anhaltende Ausrichtung des Substrats. Dieses Modul überwacht kontinuierlich die Position des Substrats, um sicherzustellen, dass das erzeugte Muster jederzeit genau bleibt. Dieses Merkmal verhindert auch geringfügige Abweichungen im Winkel des Musters, was zu einer falschen Ausrichtung des Musters führen könnte. Der Stepper enthält auch eine Vielzahl von Prozesswerkzeugen zur Verbesserung des Lithographieprozesses, wie z.B. den Autofilterwechsler, der die Filter an der Lichtquelle je nach herzustellendem Merkmal automatisch wechseln kann. Es verfügt auch über ein universelles Beleuchtungsmodul, so dass der Benutzer die Belichtung modulieren, um die optimale Auflösung und Genauigkeit in der Strukturierung zu erreichen. Schließlich ist die Maschine mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einem Anti-Kontamination-Modul, das einen Hochgeschwindigkeits-Luftstrom nutzt, um sicherzustellen, dass die Oberflächen des Wafers sauber und frei von Staubansammlungen sind. Darüber hinaus ist die Maschine so energieeffizient wie möglich mit einem leistungsschwachen Antrieb ausgelegt, um sowohl mit den Sicherheits- als auch den Umweltanforderungen Schritt zu halten. Abschließend ist CANON FPA-5500IZ + ein hochpräziser Wafer-Stepper, der leistungsstark und zuverlässig genug ist, um eine Vielzahl von Präzisions-Lithographie-Musteraufgaben zu bewältigen. Es kann die Position und Beleuchtung des Substrats genau beibehalten und gleichzeitig überlegene Übertragungseigenschaften des gewünschten Musters bereitstellen. Der Stepper enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um höchste Genauigkeit und Qualität zu gewährleisten.