Gebraucht CANON FPA 5500 iZ #9235467 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZ ist ein fortschrittlicher Wafer Stepper, entwickelt, um beispielhafte Bildgebungsleistung und Genauigkeit zu erreichen. Dieses Gerät ist ein stickstoffgasgekühlter Stepper, der tiefe ultraviolette (DUV) Lithographietechnologien verwendet, um Mikrochips und andere Halbleiterbauelemente zu verarbeiten. CANON FPA 5500IZ verfügt über ein hochgenaues Hauptbildgebungssystem, bestehend aus einem mehrschichtigen Design, einer hocheffizienten Beleuchtungseinheit und einem Drehgeber. Das mehrschichtige Design absorbiert teilweise Hintergrundlicht, um den Kantenkontrast zu erhöhen, während die hocheffiziente Beleuchtungsmaschine hilft, die korrekten Abbildungsebenen zu übertragen. Inzwischen liefert der Drehgeber genaue Positionsinformationen. FPA-5500 IZ verfügt auch über 0,0050µm Zellgenauigkeit mit 0,00024nm Liniengenauigkeit, was zu einem hohen Maß an Musterplatzierung Genauigkeit. Es verfügt auch über 0,5 nm CD-Gleichmäßigkeit und 0,0015 µm Bildgenauigkeit für ausgezeichnete Bildgebungsleistung. Darüber hinaus verwendet die Beleuchtungsoptik des Werkzeugs eine 5x Reduktionsoptik mit einer numerischen Apertur von 0,60. Die leistungsstarke Bildgebung und Genauigkeit der FPA- 5500IZ wird durch die automatisierte Kalibrierung weiter verbessert, was Anpassungsfehler minimiert. Es ist auch mit einer Reihe von anderen externen Steuerelementen ausgestattet, wie z. B. einem Fast-Track-Asset, das eine schnelle Belichtungs- und Schattierungskorrektur, eine automatische Musterausrichtung und ein On-Axis-Autofokusmodell ermöglicht, um einen optimalen Bildfokus zu erhalten. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine Verringerung der Partikelbelastung durch Luftkühlung sowie eine effektive Luftfiltration mit Partikeln bis zu 0,1 µm. Das Gesamtdesign von FPA 5500 iZ ist langlebig und zuverlässig, mit einem niedrigen Druck (6 Pascals) in seiner Kammer. Durch die hervorragende Bildgebungsleistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit ist dieses System eine ideale Wahl für diejenigen, die komplexe Bilder mit hoher Präzision erstellen müssen.