Gebraucht CANON FPA 5500 iZ #9247811 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZ ist ein Wafer-Stepper ideal für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über die Precision Gap Control Technology (PGCT), die entwickelt wurde, um Genauigkeit, Geschwindigkeit und Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig die Fähigkeit zu erhalten, Wafer von höchster Qualität zu produzieren. Diese Maschine ist in der Lage, schrittweise Operationen bei Auflösungen von bis zu 0,1 µm für die Strukturierung sowohl positiven als auch negativen Ton widersteht. Zusätzlich hat die Maschine eine hohe Leistung von 1000 Wafern/Std. und eignet sich somit gut für die kommerzielle Produktion. Der Stepper ist mit einer 4-dimensionalen Bühne gebaut, die einen integrierten Inchworm-Motor für eine reibungslose und präzise Handhabung von Wafern bietet. Dadurch kann die Positioniergenauigkeit der Ausrichteinrichtung erhöht werden und eine gleichbleibende Leistung über mehrere Wafer gewährleistet werden. Ferner ist der Wafertisch mit einem Temperaturregelsystem und einer Temperaturüberwachungseinheit ausgestattet, um eine bessere Wafer-Pegel-Homogenität zu gewährleisten. Diese Maschine verwendet eine 5KW Ultrahochdruck-Quecksilberlampe mit einer Belichtungsrate von bis zu 2.9mJ/cm2. Dies ermöglicht eine Strukturierungsauflösung von 0,3 μ m bis 10 μ m mit komplizierten Details, die mit konformer Linsentechnologie erreicht werden, sowie ein verbessertes Ätzen von flachen Schichten. CANON FPA 5500IZ bietet auch eine automatische Abstandshalter-Verlusterkennung, die eine automatische Erkennung von Abstandsverlusten innerhalb eines Zyklus ermöglicht. Dies erhöht die Zuverlässigkeit erheblich und verringert die Fehlerchancen durch die menschliche Aufsicht. Dieses Tool verfügt über eine hochauflösende Cross Stage XY, die speziell entwickelt wurde, um die strengen Anforderungen an eine präzise Positionierung und hohe Wiederholbarkeit zu erfüllen. Es ist mit einem integrierten Ringgeber, einer absoluten chromatischen Messung und einer Winkelbewegungsraste ausgestattet, die die höchste Genauigkeit der Positionierung des Waferschaftes bietet. FPA-5500 IZ verfügt auch über eine automatische Zoneneinstellfunktion zum schnellen Einrichten einheitlicher Belichtungseinstellungen. Dies ist eine vorteilhafte Funktion, die den Einrichtvorgang vereinfacht und eine schnelle Belichtung von Wafern ermöglicht, die entweder gemischt ausgebildet sind oder ein komplexes Muster aufweisen. FPA 5500 iZ wird auch durch überlegenen After-Sales-Service über CANON Service-Netzwerk unterstützt, das ein Online-Management-Asset, technischen und technischen Support von qualifiziertem Personal und eine Reihe von zusätzlichen Optionen wie Remote-Fehlerbehebung umfasst. Abschließend ist FPA 5500IZ ein fortschrittliches Wafer-Stepper-Modell, das hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Mit seiner hohen Geschwindigkeit und Genauigkeit eignet es sich gut für die Herstellung von hochpräzisen und komplizierten Mustern in der Halbleiterindustrie.