Gebraucht CANON FPA 5500 iZ+ #9247812 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZ + Wafer Stepper verwendet fortschrittliche Halbleiterlithographie für hohe Durchsatz, hochauflösende Bildgebung. Seine Mehrwellenlängensicht ermöglicht es dem Gerät, komplexe Ausrichtungs- und Overlay-Scans durchzuführen, wenn mehrere Schichten erzeugt werden. Darüber hinaus verfügt das iZ + über ein erweitertes Array optischer Subsysteme, die eine Musterkorrektur und einen großen Dynamikbereich ermöglichen. Sein Deep Ultraviolet (DUV) Scanner ist in der Lage, 0,18-Mikron-Funktionen aufzulösen. CANON FPA-5500IZ + ist eine Stellungsmesssystemlaservorsprungseinheit (LP) mit einer sich autokonzentrierenden Maschine, die für die hohe Präzision, hohe Durchflussherstellung entworfen ist. Es ist mit einer 5-teiligen Linse mit 9 Zoll Durchmesser für den DUV-Laser ausgestattet, so dass das Werkzeug eine hohe Bildauflösung und ein Blickfeld (FOV) von 150 mm erreichen kann. Das LP kann durch ein großes Sichtfeld messen, so dass es mit präziser und wiederholbarer Ausrichtgenauigkeit für die Produktion und Inspektion von Gerätewafern verwendet werden kann. FPA 5500 IZ++ Wafer Stepper verfügt über zahlreiche Funktionen für hochpräzise Bildgebung. Es ist mit einem chromatischen Aberration Corrector (CAC) für klare Bildgebung und einem piezo-gesteuerten Scan-Asset ausgestattet, das die Positionsdrift des CAC kompensiert. Zusätzlich hilft ein optischer Filter mit mehreren Wellenlängen, subtile Unterschiede zwischen Mustern zu erkennen. Darüber hinaus ermöglicht das lineare Mustererkennungsmodell zur Vermeidung von Verzerrungen eine präzise Ausrichtung. Es ist auch mit interner Signalverarbeitung ausgestattet, die Rauschen reduziert und die Genauigkeit der Mustererkennung erhöht. Mit einer Strahlteilerausrüstung am DUV-Laser kann FPA-5500IZ + auch schnell zwischen verschiedenen Lithographieschichten wechseln. Dies ermöglicht eine schnelle Bearbeitungszeit und einen hohen Durchsatz bei minimalen Ausfallzeiten. Darüber hinaus bietet der 360-Grad-Spinnrevolver einen verbesserten Durchsatz für mehrere Positionen. Es ermöglicht dem System, schnell die Überlagerungsstellen für eine präzisere Platzierung zu wechseln. CANON FPA 5500 IZ++ bietet auch eine eingebaute Auto-Mosaik-Funktion, so dass es mehrschichtige, hochwertige Geräte zu produzieren. Dieses Merkmal erzeugt ein Mosaik von Bildern, um das Substrat zu bedecken, ohne dass eine manuelle Neuausrichtung des Wafers erforderlich ist. Darüber hinaus ist es in der Lage, bis zu 6x Retikles für parallele Belichtung zu handhaben und kann bis zu 8x Belichtungen in einem einzigen Job abbilden. Insgesamt ist der FPA 5500 iZ + Wafer Stepper eine zuverlässige und flexible Einheit, die hochpräzise Bildgebung mit minimierten Verzerrungen für hohen Durchsatz und Ausgänge komplexer Mehrschichtgeräte bietet. Mit der breiten Palette von Funktionen bietet es eine ideale Wahl für die schnelle und genaue Herstellung von Geräten.