Gebraucht CANON FPA 5500 iZ #9275017 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZ ist ein Wafer-Stepper, der kritische Lithographieaufgaben in Halbleiterherstellungsprozessen durchführt. Es ist eine verbesserte Version der FPA 5000, die eine verbesserte Optik-Ausrüstung und eine höhere Auflösung der Funktionen bis zu 0,09 Mikrometer hat. Der Stepper verwendet die Linsentechnologie, die aus einer Anordnung optischer Elemente wie Linsen, Spiegel und Prismen besteht, um ein Bild auf einen Wafer zu übertragen. Es reduziert die Öffnung des Lichts, was eine präzisere und genauere Platzierung des Bildes ermöglicht. CANON FPA 5500IZ verfügt über eine hohe bildgebende Leistung für tiefe UV-Lithographie und bietetMuster mit Linienbreiten bis zu 0,09 Mikrometer (0,009 mm) in positiven und negativen Resistbelichtungen. Es bietet auch überlegene Overlay-Genauigkeit und geringe Prozessbreite und gewährleistet enge Toleranzen beim Produktdesign. Das Gerät verfügt über ein verbessertes optoelektronisches Projektionssystem, das die Auflösung erhöht, sowie eine verbesserte Beleuchtungseinheit, die eine gleichmäßige Beleuchtung über das gesamte Belichtungsfeld gewährleistet. Auf diese Weise können Kunden optimale Ergebnisse erzielen, um ihre gewünschten Muster zu erzeugen. FPA-5500 IZ verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es für jeden hochpräzisen Lithographieauftrag geeignet machen. Es hat ein maximales Feld von 24 X 24 mm und ist mit einem Stufenübersetzungsbereich von 10 mm für maximale Feldgröße und Genauigkeit ausgestattet. Die Einheit ist in der Lage, mit einer Vielzahl von verschiedenen Wellenlängen zu arbeiten, einschließlich i-line (365 nm), g-line (436 nm) und DUV (248 nm). Die Maschine ist außerdem mit einem leistungsstarken Waferausrichtwerkzeug ausgestattet, das es der Maschine ermöglicht, eine Ausrichtgenauigkeit von über 70 nm bei einer Wiederholgenauigkeit von bis zu 20 nm zu gewährleisten. Die Maschine ist sehr zuverlässig und stabil, mit Eigenschaften wie einem Luftionisator und Staubfilter. Das Gerät ist auch mit einem Anti-Vibrations-Tisch ausgestattet, der eine stabile Bildplatzierung von bis zur halben Tonhöhe auf einem Wafer ermöglicht. Es ist mit einem inneren Absperrventil ausgestattet, das eine Verschmutzung der Vakuumkammer verhindert. FPA 5500IZ verfügt auch über einen großen LCD-Monitor zur einfachen Anzeige von Bildinformationen. In Bezug auf die Automatisierung ist CANON FPA-5500 IZ mit einem erweiterbaren Controller ausgestattet, der bis zu drei benutzerdefinierbare automatische Ladefunktionen für unterschiedliche Durchsätze unterstützt. Es ist auch über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI) steuerbar, die eine vollautomatische, halbautomatische oder manuelle Bedienung ermöglicht. Die Maschine hat eine hohe Prozessgeschwindigkeit, die Belichtungszeiten reduziert und bis zu acht Wafer pro Stunde handhaben kann. Insgesamt ist FPA 5500 iZ ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der mit seinen verbesserten Optiksystemen eine erhöhte Auflösung und Funktionalität bietet. Darüber hinaus bietet es eine hohe Genauigkeit bei Waferausrichtung und Overlay sowie Automatisierungsoptionen für mehr Effizienz und Durchsatz.