Gebraucht CANON FPA 5500 iZ+ #9293801 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZ + ist ein modernster Wafer-Stepper für integrierte Schaltungen (IC). Das Gerät ist in der Lage, Wafer von 200mm bis 450mm Durchmesser zu handhaben und kann Wafer mit einer schnellen Geschwindigkeit von bis zu 300 mm/s verarbeiten. Der Stepper ist mit einer fortschrittlichen Bildpositionierungsoptik ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung des Retikels auf dem Wafer ermöglicht, mit Submikron-Genauigkeit für jede Belichtung. Dieses System ist auch in der Lage, den gesamten Wafer innerhalb von Minuten zu scannen und Fehler oder Defekte zu erkennen. Darüber hinaus verfügt der FPA 5500 über eine präzise Stufenbewegungssteuerung, die eine gleichmäßige Belichtung und eine äußerst genaue Ausrichtung von Scheibe zu Scheibe über die gesamte Oberfläche des Wafers ermöglicht. Der Stepper hat eine kompakte Bauweise, die es ermöglicht, die Maschine in einer Vielzahl von Konfigurationen zu installieren, ohne dass eine kostspielige Transfereinheit erforderlich ist. Darüber hinaus verfügt es über automatisierte Wartungsfunktionen, die den Zustand der Maschine überwachen und notwendige vorbeugende und korrektive Wartungen durchführen, um einen zuverlässigen Produktionsprozess zu gewährleisten. Das Gerät wird von einem Advanced On-Axis Illumination Tool (AOIS) angetrieben, das Hochleistungs-LEDs verwendet, um eine gleichmäßige Lichtintensität über die gesamte belichtete Oberfläche des Wafers bereitzustellen. Darüber hinaus nutzt das Asset ein optimiertes UV-Spektrum, um eine möglichst hohe Auflösung für mehr Klarheit und Kantendefinition sowie eine höhere Fokustiefe je nach Wafertyp und Dicke zu erzielen. Das Gerät verfügt auch über ein hochgenaues diffraktives optisches Element, das ein gleichmäßiges Feld der scharfen Beleuchtung auf den Wafer projiziert und nahezu perfekte Bildgleichmäßigkeit und Vielseitigkeit der Belichtung bietet. Darüber hinaus ist der FPA 5500 mit CANON iZ Monitor Model ausgestattet, das präzise Belichtungsdaten in Echtzeit aufzeichnet und meldet, was einen präzisen und fehlerfreien Betrieb ermöglicht. Um höchste Qualität und Produktivität zu gewährleisten, ist CANON FPA-5500IZ + mit einer integrierten Qualitätssicherung ausgestattet. Dieses System zeichnet alle Prozessänderungen auf, wodurch sie leicht zur Prozessverbesserung und vorbeugenden Wartung abgerufen werden können, und ermöglicht den Austausch von Prozessdaten zwischen den Einrichtungen. Darüber hinaus ist FPA 5500 IZ++ mit einer Auto Alignment Unit ausgestattet, um eine schnelle, genaue Ausrichtung von Reticle-to-Wafer zu ermöglichen, die wiederholbare Produktqualität gewährleistet. FPA 5500 iZ + ist ein zuverlässiges Präzisionsgerät und bietet die beste IC-Produktionstechnologie. Mit seiner beeindruckenden Geschwindigkeit von bis zu 300 mm/s bietet der Stepper bei jeder Belichtung außergewöhnlich viel Detail, während seine vorhandenen Wafer-Handling-Komponenten leicht für noch anspruchsvollere Aufgaben aufgerüstet werden können.