Gebraucht CANON FPA 5500 iZ #9350968 zu verkaufen
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CANON FPA 5500 iZ ist ein modernster Wafer-Stepper, der zur Herstellung von Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen verwendet wird. Es ist in der Lage, Mikro- und Nanoskala-Merkmale zu produzieren, was zu einer erhöhten Präzision und Leistung führt. Herzstück der Maschine ist die integrierte ZAP-Dual-Beam-Optik, die einen 5.500-mm-Pulslaser mit einer DIF-Konfiguration (Differential Imaging) kombiniert, für eine verbesserte Photolithographie-Leistung. CANON FPA 5500IZ enthält auch ein 600 mm rechteckiges Projektionsobjektiv, das eine schnelle Scangeschwindigkeit und eine reduzierte Verzerrung ermöglicht. FPA-5500 IZ hat eine breite Feldfläche von 425 mm und ist mit einem innovativen Feature-Based On-Axis Alignment (FOBAW) System für verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgestattet. Seine hochpräzisen X-Y-Stufen sind in der Lage, hochgenaue unabhängige Bewegungs- und Scan-Führung. Für hohe Produktivität und erhöhte Zuverlässigkeit ist die Maschine mit einer reduzierten Werkzeugaufbauzeit ausgelegt. Hinsichtlich der Leistung ist CANON FPA-5500 IZ in der Lage, hochpräzise geätzte und/oder beschichtete Geräte mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 0,5 µm herzustellen. Das Gerät ist auch mit Beugungsunschärfe-Reduktionstechnologie ausgestattet, die die Auswirkungen von beugungsinduzierten Maskenfehlern reduzieren kann. Die fortschrittliche Steuerungsmaschine verfügt über eine einzigartige Memory Resonant Scan (MRS) -Technologie, die eine schnellere Ausrichtung von Maske zu Wafer und eine schnellere Strukturierung ermöglicht. Darüber hinaus ist FPA 5500 iZ mit mehreren Funktionen konzipiert, die Sicherheit, Effizienz und Wirtschaftlichkeit erhöhen. Es ist mit einem Lasersicherheitsüberwachungswerkzeug ausgestattet, das die Umgebung der Maschine überwacht, um die Lasersicherheit zu gewährleisten. Die Maschine ist auch in der Lage, Wärme zu erzeugen, die durch eine erzwungene Luftanlage abgeführt werden kann, um Schäden an Komponenten zu verhindern und die Energieeffizienz zu verbessern. Schließlich bietet ein programmierbares Logikmodell eine interaktive Schnittstelle für eine schnelle und einfache Auftragssteuerung. FPA 5500IZ ist ein modernster Wafer-Stepper, der höchste Präzision und Leistung für anspruchsvolle Produktionsanforderungen bietet. Seine fortschrittlichen Funktionen, wie FOBAW, MRS und Lasersicherheitsüberwachung, stellen sicher, dass es sehr zuverlässig und kostengünstig ist. Damit ist CANON FPA 5500 iZ eine ideale Wahl für die Herstellung von Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen.
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