Gebraucht CANON FPA 5500 iZa #293606891 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293606891
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa ist ein Wafer-Stepper für Hersteller von Halbleiterbauelementen, die präzise Ausrichtungs- und Belichtungslösungen benötigen. Es handelt sich um einen Einstrahl-Projektions-Aligner-Typ, der Anwendern erweiterte Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bietet. CANON FPA-5500IZA ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die den gesamten Prozess verbessern sollen, indem sie ein Qualitätsprodukt mit weniger Fehlern erstellen. Die beleuchtete Feldgröße reicht von 7,5 bis 55 μ m, die minimale Funktionsgröße beträgt 0,5 μ m. Der Stepper hat eine Ausrichtgenauigkeit von bis zu 2,5 μ m bei einer minimal messbaren Linienbreite von 0,15 μ m. FPA 5500IZA verfügt über eine mechanische Stufe, die sich in drei Achsen (X, Y und Z) für Minuteneinstellungen für die Ausrichtung und Belichtung bewegen kann. Darüber hinaus verfügt der Stepper über ein hochauflösendes Bildgebungssystem zur schnellen und genauen Registrierung von Ausrichtungsmarken. Darüber hinaus ist es mit automatischer und manueller Fokussteuerung für weitere Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgestattet. FPA-5500 IZA verfügt auch über ein umfangreiches Belichtungssystem, das eine schalungslose Laserquelle umfasst, die die Produktkonsistenz über mehrere Chargen gewährleistet. Dieses System wurde in den Stepper selbst integriert, so dass es sich an eine Vielzahl von Belichtungszielen anpassen kann. Ein verbesserter reflektierender Spiegel reduziert auch die Gesamtbelichtungszeit und liefert eine bessere Bildgenauigkeit. Der Stepper ist mit seinem benutzerfreundlichen Grafikdisplay-Terminal und einer Software-Suite benutzerfreundlich gestaltet. Diese Software-Suite ermöglicht eine automatisierte Eingabe und Steuerung für eine Reihe von Fertigungsprozessen, einschließlich Ausrichtung, Belichtung und Nachbelichtung. Der Stepper kann in verschiedenen Modi betrieben werden, wie manuell oder automatisiert, sowie im Offline- oder Online-Modus. CANON FPA 5500IZA wurde entwickelt, um Herstellern überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit zu bieten. Es ist ein vielseitiger und sehr anpassungsfähiger Stepper, der perfekt für Hersteller von Halbleiterbauelementen geeignet ist. Es kann für eine breite Palette von Prozessen programmiert werden, mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche macht es einfach zu bedienen. Schließlich wurde sein innovatives Design entwickelt, um den gesamten Herstellungsprozess zu verbessern, was zu überlegenen Produkten mit weniger Fehlern führt.
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