Gebraucht CANON FPA 5500 iZa #293606898 zu verkaufen
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ID: 293606898
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa ist eine High-End-Chip-Bildgebung und lithographische Ausrüstung, entwickelt für fortschrittliche Halbleiterherstellung. Dieses Wafer-Stepper-System wurde für fortschrittliche lithographische Technologieoperationen und Präzisions-Wafer-Mapping-Funktionen entwickelt. Seine Kernfunktionen umfassen ein großes optisches Feld und einen hohen Durchsatz, rauscharme Strahlabtastung, so dass es beispiellose Bild- und Lithographie-Leistung zu liefern. CANON FPA-5500IZA ist mit einem großen beleuchteten Feld konzipiert, das knapp 20 Zoll beträgt und große Stempelanwendungen ermöglicht. Dieses große Feld erweitert den Prozessspielraum, insbesondere bei der Bearbeitung größerer Späne. Das Gerät verfügt über eine hochgradig stoßfeste und korrosionsbeständige Konstruktion, die es ermöglicht, unter rauen industriellen Prozessbedingungen durchzuführen. Der Stromverbrauch wurde ebenfalls verbessert und bietet eine beispiellose Energieeffizienz. FPA 5500IZA ist mit hochpräziser, rauscharmer Strahlabtastung ausgestattet, die es ermöglicht, kleine Chargen zu verarbeiten und für einzelne Schichten kann es Mikron-genaue Merkmalsgrößen produzieren. Diese Scantechnologie reduziert den Verschmutzungsgrad auf dem Wafer erheblich und bietet saubere Prozesse, die eine noch höhere Präzision bieten. Die Maschine ist auch mit einer großen und leistungsstarken Scanflüssigkeitslinse ausgestattet, die es ermöglicht, bis zu einer Auflösung von 0,75 Mikrometer mit einer 20-Bit-Farbtiefe auszugeben. CANON FPA 5500IZA verwendet ein photoelektrisches Gitter zur schnellen Strukturierung mit präziser Platzierung und präziser Ausrichtung. Diese Technologie ermöglicht auch eine unterbrechungsfreie Programmierung, da das Werkzeug leicht zwischen kleinen und großen Mustern wechseln kann. Darüber hinaus ermöglichen die hochpräzisen Ausrichtungsfunktionen des Asset eine präzise Musterpositionierung und Zuverlässigkeit. FPA-5500IZA verfügt über ein fortschrittliches Computermodell und eine Software, die mit fortschrittlichen Algorithmen integriert ist und es ermöglicht, ein hochauflösendes und Großfeldmuster auf dem Wafer genau abzubilden. Diese Ausrüstung ist in der Lage, fortschrittliche Lithographie, wie Immersions-Lithographie, und auch die Verwendung von fortschrittlichen Wafer-Bildgebung, wie fortschrittliche UV-, Röntgen- und E-Strahl-Bildgebung. Mit seinem hochzuverlässigen und energieeffizienten Design, fortschrittlichen bildgebenden und lithographischen Funktionen und der präzisen Wafer-Mapping-Technologie bietet FPA 5500 iZa fortschrittliche Chipherstellung und lithographische Operationen mit unvergleichlicher Leistung.
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