Gebraucht CANON FPA 5500 iZa #293799914 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 5500 iZa
ID: 293799914
i-Line stepper.
CANON FPA 5500 iZa ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der für die fortschrittliche Herstellung einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Diese Maschine ist eine ideale Wahl für die Serienproduktion mit einer Hochlastplattform, erhöhter Produktivität und außergewöhnlicher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit. CANON FPA-5500IZA verfügt über eine integrierte Dualebene Ausrichtung Ausrüstung, so dass eine genaue, schnelle und einfache Platzierung von verschiedenen Arten von Quell- und Zielsubstraten. Seine 5-Achsen-Bewegungsplattform verfügt über 2 Linearantriebe, zwei Drehachsen und eine Drehachse des Futters. Diese Bewegungsplattform ist in der Lage, eine breite Palette von Substratgrößen und -formen zu handhaben, so dass komplizierte, winzige Funktionen mit Mikron-Präzision gedruckt werden können. FPA 5500IZA verfügt auch über CANON einzigartige asphärische Optik-System (AOS), die Aberration für hervorragende Muster Platzierung Genauigkeit minimiert, bietet Submikron-Registrierung und Overlay-Genauigkeit. Mit dieser Einheit entfällt auch die Notwendigkeit spezieller Werkzeuge, die dem Kunden mehr Flexibilität und Kontrolle bieten. Die FPA 5500 ist kompatibel mit mehreren Wellenlängen, von 157nm bis 248nm, und kann die gesamte Palette von konventionellen, Harz und thermischen Resistmaterialien aufnehmen. Der Laserscanner ist mit der größten Blende integriert und ermöglicht eine präzise Steuerung des Teamwinkels. Die FPA 5500 kann auch eine Feuchtigkeitserfassungsmaschine für optimale Folienbedingungen verwenden und enthält Online-Korrekturen, um das Gerät vor Umweltveränderungen wie Gas- oder Dampfverschmutzung zu schützen. Die FPA 5500 verfügt zudem über eine umfassende Software-Suite, die verschiedene Designanforderungen und Fertigungsprozesse sowie automatisierte Resistentwicklung und Filmschichtsteuerung integrieren kann. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine einfache Kontrolle über die Maschine, und CANON Online-Prozess Tutorial bietet schnellen Zugriff auf Schritt-für-Schritt-Anleitungen. Abschließend ist FPA-5500 IZA die Lösung der Wahl für die Serienproduktion mit beispielloser Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Leistung. Seine robuste Bewegungsplattform und seine flexiblen Parameter ermöglichen es, eine breite Palette von Substraten, Widerstandsmaterialien und Designanforderungen aufzunehmen, was zu überlegener Gerätequalität und Effizienz führt.
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