Gebraucht CANON FPA 5500 iZa #293808358 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZa
Hersteller
CANON
Modell
FPA 5500 iZa
ID: 293808358
Weinlese: 2007
i-Line stepper 2007 vintage.
CANON FPA 5500 iZa ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper, der eine hohe Produktivität und präzise Bildgebung für die Halbleiterherstellung bietet. Es ist in der Lage, 10.000 5-Zoll-Wafer pro Stunde zu schaffen, mit der Fähigkeit, einen Laserstrahl im Nanometerbereich zu fokussieren, um hochpräzise Muster zu erstellen. CANON FPA-5500IZA basiert auf CANON Multi-Linsen-Technologie, die zwei Linsen kombiniert, um Fokus Drift für höhere Genauigkeit zu reduzieren. FPA 5500IZA verfügt über eine maßgeschneiderte Niederspannungs-Scanausrüstung mit variabler Geschwindigkeit, kombiniert mit einzigartiger Vierkanal-Belichtungstechnologie, um eine beispiellose Genauigkeit auch bei hoher Geschwindigkeit zu gewährleisten. Es unterstützt eine Reihe von Auflösungen von 2,5 µm bis 0,5 µm und ist kompatibel mit niedrigviskosen und gemischten Resists. CANON FPA 5500IZA bietet nicht nur überlegene Bildgebungsfunktionen, sondern auch ein zuverlässiges und starres Workstation-Einrichtungssystem, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Um Bilder höchster Qualität zu gewährleisten, integriert FPA-5500IZA mehrere fortschrittliche Technologien. Die kluge Defektentdeckungseinheit schützt vor Partikelnverunreinigung und anderen Unreinheiten, während die Horatenaussetzungsentschädigungsmaschine Aussetzungswiederholbarkeit sichert. Der Laserstrahl-Shaper erhöht die Feldgröße unter Beibehaltung der Auflösung und die reale Tomographie-Technik bietet 3D-Belichtungssteuerung. Darüber hinaus verfügt CANON FPA-5500 IZA über die Möglichkeit, sowohl Ein- als auch Mehrstufenbelastung zu verarbeiten, was eine komplexe Strukturierung ermöglicht. Um den Aufwand für Betreiber und Ingenieure weiter zu verringern, verfügt FPA 5500 iZa über eine benutzerfreundliche Bedienoberfläche mit Bühnenmanagement und Analysetools wie Waferausrichtung und Dosiszuordnung. Darüber hinaus integriert es sich mit einem fortschrittlichen Rack-Tracking-Tool, das Unternehmen bei der Optimierung von Stora unterstützt und sowohl die Leistung als auch die Flexibilität bietet, die für die Verarbeitung von hochwertigen Präzisions-Halbleitern erforderlich ist.
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