Gebraucht CANON FPA 5500 iZa #9113707 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

Hersteller
CANON
Modell
FPA 5500 iZa
ID: 9113707
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
i-Line stepper, 12" Reticle size: 6" Exposure system: Numerical aperture (NA): 0.45 to 0.57, 0.01 resolution Magnification: 1:4 Field Size: 1" x 1.3" Exposure light: i-Line (λ: 365[nm]) Main system: Console: Dual console Signal tower: (4) Color (User set) Wafer system: Water track interface: TEL ACT 12 Inline direction: Front inline Track interface: Lithius Reticle system: Reticle barcode reader: Standard Reticle library: Standard (7 slots) (7) Pallets Included: Port tag reader Wafer temperature plate Reject carrier type (5 wafers) Currently de-installed 2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa ist eine Hochleistungsoblate Schritt-entworfen für Großserienfotolithographieanwendungen. Es ist ein High-End-Tool, das verwendet wird, um erweiterte integrierte Halbleiterschaltungsbauelemente zu strukturieren, und verfügt über eine extrem präzise und wiederholbare Bildgebungsleistung. Der Stepper integriert fortschrittliche laserdirekte Bildgebungstechnologie mit Hochgeschwindigkeits-DMD (Digital Micro-Mirror Device) -Projektionsoptik, um eine schnelle und zuverlässige Plattform für die schrittbasierte Waferherstellung zu bieten. Die Plattform besteht aus einer fortschrittlichen DMD-Projektionsanordnung, einer hellen UV-Laserlichtquelle und einer Reihe anspruchsvoller Steuerungssysteme. Mit der DMD-Projektionsanordnung kann der Stepper die Bildbreite über den Wafer sowie die Positionsausrichtungsgenauigkeit und Kohärenz jedes Feldes genau steuern. Dies gewährleistet eine hohe Wiederholbarkeit des Bildes über mehrere Wafer und liefert eine hochpräzise Geräteherstellung. Der Stepper verfügt zudem über eine hochpräzise Z-Achsen-Antriebssteuerung, die präzise Fokuseinstellungen ermöglicht und gleichzeitig einen größeren Belichtungsschwerpunkt für jedes Feld bietet. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Bildqualität über das gesamte belichtete Feld und gewährleistet eine genaue und konsistente Geräteherstellung über alle Oberflächen des Wafers. CANON FPA-5500IZA verfügt über ein hochgenaues Autofokus-System zur Optimierung der Bildauflösung und ein erweitertes Messtechnik-Retikel-Korrektursystem für verbesserte Feld-zu-Feld-Konsistenzen. Der Stepper verfügt auch über integrierte Mustererkennungs- und Registrierungsfunktionen, um das Laden von Masken und die optische Ausrichtung zu beschleunigen. Darüber hinaus nutzt FPA 5500IZA fortschrittliche Wärmemanagementtechnologie, um einen stabilen Betrieb der DMD-Baugruppe und der Laserlichtquelle sowie eine effiziente Kühlung der Optik und optischen Komponenten zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über ein umfassendes Sicherheitssystem zum Schutz seiner Anwender vor möglichen laserbedingten Unfällen. Um maximale Zuverlässigkeit zu gewährleisten, verwendet der Stepper Bildsensoren und integrierte Elektronik für mehr Zuverlässigkeit und verlängerte Lebensdauer. CANON FPA 5500IZA bietet zudem eine umfassende Palette von Prozessmanagement-Tools und -Services, die eine verbesserte Werkzeugauslastung und -leistung ermöglichen. Schließlich kommt der Stepper mit einer intuitiven Oberfläche und einfach zu bedienender Software für eine schnellere und effiziente Schrittbedienung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor