Gebraucht CANON FPA 5500 iZa #9294138 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZa ist ein von CANON entwickelter High-End-Lithographie-Projektionsstepper. Dieses fortschrittliche Stück optische Lithographie Ausrüstung ist entworfen, um gemusterte Schichten auf Wafern mit Auflösungen so fein wie 0,2 Mikrometer freizulegen, die einem Fünftel der Breite eines Haares entspricht. Der FPA 5500 gibt eine hohe numerische Apertur von 0,7 frei, was im Vergleich zu herkömmlichen Steppern einen verbesserten Fokus und einen höheren Durchsatz ermöglicht. Die FPA 5500 nutzt CANON patentierte fortschrittliche iZ PreAlign Technologie, die eine gekippte Stufe verwendet, die von CANON Scanning Stepper übernommen wird, gepaart mit seinem fortschrittlichen 'VIA2' Algorithmus, um eine präzise Ausrichtung zwischen einem Wafermuster und der Belichtungsebene des Steppers zu ermöglichen. Dies ermöglicht eine höhere Ausrichtgenauigkeit und einen verbesserten Durchsatz im Vergleich zu herkömmlichen Steppern. Der FPA 5500 wird von einem CANON Edge 5500 Prozessor mit integriertem Controller-ICs betrieben, der die Größe der Maschine reduziert und 15-Bit-ADC/DAC und Wafer-Alignment-Machine (WAM) für erweiterte Ätzfunktionen verwendet. Dieser Prozessor befreit auch die Wafer-Edge-Zone von Ausrichtungsfehlern im Vergleich zu veralteten Wafer-Steppern. Die Präzision des FPA 5500 wird durch den Einsatz eines hochstabilen Glasvakuumfutters, der sicherstellt, dass der Wafer sicher gehalten wird, und des Projektionsausrichters, der einen Vier-Facetten-Beleuchter und Bühnenlinsen-Konfigurationen verwendet, um eine Fehlausrichtung zu minimieren, aufrechterhalten. Die FPA 5500 verfügt außerdem über ein Autofokus-System, das eine Laserquelle und einen Fokusdetektor zur genauen Messung der Brennweite zwischen Maske und Wafer verwendet. Darüber hinaus ist der FPA 5500 mit CANON 'Atom' Imaging Technology ausgestattet, die die Genauigkeit der Belichtungsdosis erhöht, indem sie eine gleichzeitige Messung von 6 optischen Achsen ohne Bewegung ermöglicht. CANON FPA-5500IZA ist ein leistungsstarker, hochmoderner Wafer-Stepper. Diese modernste optische Lithographie-Ausrüstung ermöglicht eine höhere Ausrichtungsgenauigkeit und einen verbesserten Durchsatz bei höchster Präzision und Stabilität bei der Strukturierung.