Gebraucht CANON FPA-5500iZe #293758315 zu verkaufen

CANON FPA 5500 iZe ist ein hochpräziser Mustergenerator für Photolithographie-Geräte, die für die Herstellung modernster hochdichter Mikrostrukturen geeignet sind. Das Gerät verwendet Fünf-Achsen-Scannen, um überlegene Musterqualität und gleichmäßige Kantenplatzierung bei Auflösungen von 2 μ m bis 32 μ m zu bieten. Eine vierdimensionale, fünfachsige Abtaststeuerung kompensiert etwaige Musterverzerrungen aufgrund von Schwankungen und Neigungen und sorgt so für eine gleichbleibend genaue Strukturierung. Die Einheit ist mit zwei separaten Scannern ausgestattet, die auf einer zentralen Platte montiert sind. Jeder Scanner enthält einen rotierenden Spiegel, der Licht durch eine von zwei Objektivlinsen auf die Mustermaske und auf den Wafer projiziert. Dies ermöglicht sowohl hochauflösende als auch durchsatzstarke Produktionsprozessfähigkeiten. Die Kombination zweier Scanner vereinfacht zudem den Ausrichtungsprozess und reduziert die Zeit und Komplexität der Waferaufbereitung. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein integriertes Hochspannungsnetzteil, das Hochtemperaturglühen und Prozessoptimierung ermöglicht. Weitere Funktionen wie erweiterte Automatisierungsfunktionen, automatisiertes Laden und Entladen von Wafern sowie dedizierte Software ermöglichen die Verwendung von FPA 5500 iZe für Serienprozesse. CANON FPA 5500 iZe enthält auch Schutzmerkmale, um das Risiko von menschlichen Schäden beim Umgang mit den exponierten Halbleiterscheiben zu minimieren. Der Schutzkäfig und das einfach zu bedienende Wafer-Handhabungswerkzeug sorgen dafür, dass Wafer ohne Schutzhandschuhe aus dem Gerät entfernt werden können. Dies reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Kontamination und verhindert Waferschäden bei der Handhabung. Das Modell soll eine offene, benutzerfreundliche Plattform für Benutzer mit minimalen Fähigkeiten bieten. Die Windows-basierte Software ermöglicht es Benutzern, einfach Wafer-Rezepte einzugeben und auf technischen Support und Maschinenhilfedateien zuzugreifen. Darüber hinaus wird eine interaktive Diagnose- und Fehlerbehebungsausrüstung zur schnellen und einfachen Ermittlung von Maschinenproblemen bereitgestellt. Darüber hinaus enthält FPA 5500 iZe alle notwendigen Werkzeuge für die Bearbeitung mehrerer Wafertypen. Von der optischen Verschlüsselungstechnologie bis hin zur abgeschwächten Phasenverschiebung und Split Field Imaging ist das System ausgestattet, um die fortschrittlichsten Mikromuster, Funktionen und Funktionen mit hoher Dichte zu verarbeiten und zu überprüfen. Es kann auch zum schnellen Belichten und Ätzen von erweiterten Logik- und Speicherprodukten verwendet werden. CANON FPA 5500 iZe ist ein ideales Werkzeug für die modernste Musterung und Verarbeitung selbst anspruchsvollster Mikrostrukturen. Seine Genauigkeit und Flexibilität machen es ideal für Serienprozesse, und seine fortschrittliche Automatisierung und integrierte Sicherheitsfunktionen machen es zu einem zuverlässigen Werkzeug für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen.