Gebraucht CANON FPA 5510 iZ #293818352 zu verkaufen

CANON FPA 5510 iZ ist ein Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um Präzisionslithographie für die Herstellung verschiedener integrierter Schaltungen (ICs) bereitzustellen. Dieses Gerät nutzt eine Reihe von erweiterten Funktionen, einschließlich einer hohen numerischen Apertur (NA) von 0,82, und eine harte Alkali-basierte Resistbeschichtung, die Ladung verhindert und lithographische Defekte reduziert. Der Stepper ist in der Lage, Schaltungen mit einer extrem hohen Genauigkeit bis zu einer Auflösung von 0,33 µm herzustellen, wobei die hohe NA eine einfachere Fokuseinstellung und eine verbesserte Lichtdurchlässigkeit ermöglicht. CANON FPA-5510IZ verfügt über ein kompaktes, nicht vergossenes Design, das die Luftverschmutzung minimiert und das Eindringen von Staub auf die Waferoberfläche reduziert. Sein Belichtungsfeld beträgt 6,45 Zoll (164 Millimeter), und es ist in der Lage, anspruchsvolle und komplizierte Muster auf den Wafer mit Präzisionsplatzierungsgenauigkeit von weniger als 0,04 µm zu projizieren. Eine patentierte optische Schaltung, die sicherstellt, dass das projizierte Muster zwischen den Belichtungen genau ausgerichtet bleibt, trägt zur präzisen Herstellung komplexer Gerätestrukturen bei. Die Anordnungsgenauigkeit des Systems wird durch sein Echtzeit-, Hochleistungsautofokussystem unterstützt, es fähig zu schnell machend und genau Oblatenkenntnisse erwerbend. Der Stepper ist auch benutzerfreundlich gestaltet, mit einem LCD-Display, das eine einfache visuelle Überwachung der verschiedenen Parameter und Funktionen ermöglicht. FPA 5510 iZ wird von einem 107W LampBoard angetrieben, das einen effektiven Schrittbetrieb ermöglicht. Ein Hochfrequenz-EHX (HF) -Antrieb ist so konzipiert, dass er eine stabile Ausrichtung und Mustergenauigkeit bei einer Vielzahl von Umgebungsbedingungen bietet. Der Stepper kommt auch mit einer proprietären ActiveX™ Bildkompensationstechnologie, die Flexibilität bietet und die Musterintegrität unabhängig von Änderungen in Umweltparametern wie Feuchtigkeit und Beleuchtung gewährleistet. FPA-5510IZ stellt einen leistungsstarken Wafer-Stepper dar, der High-End-integrierte Schaltungen mit hoher Genauigkeit herstellen kann. Sein Design ohne Ablagerung trägt dazu bei, dass die Luftverschmutzung minimiert wird, während seine robuste Palette fortschrittlicher Funktionen zu präziser Strukturierung und zuverlässiger Leistung in einer Vielzahl von industriellen Umgebungen beiträgt.