Gebraucht CANON FPA 5510 #293648529 zu verkaufen

Schritt-CANON FPA 5510 Oblate ist ein optisch gesteuertes, schnelllaufendes im Halbleiterfertigungsverfahren verwendetes Steindruckverfahrenwerkzeug. Es ist in der Lage, Multi-up-Wafer-Verarbeitung, und ist mit einem hochauflösenden Scanner und erweiterte Optik, um eine genaue Ausrichtung der Musterpositionen auf dem Wafer während der Lithographie zu gewährleisten ausgestattet. FPA 5510 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der auf jeder Art von Werkstück hochleistungsfähige und hochpräzise Muster erzeugt. Seine zweiachsige Ausrüstung bietet hohe Präzision, Genauigkeit und hohen Durchsatz und bietet eine komplette lithographische Lösung für komplizierte, komplexe photolithographische Aufträge im Mikrometermaßstab. CANON FPA 5510 hat eine Auflösung von etwa 0,005 um, mit einer maximalen Projektionsfläche von 640 x 480 mm. Es bietet einen hohen Durchsatz mit einer Durchsatzgeschwindigkeit von 80 Wafern pro Stunde. Das Zubehör umfasst eine Auswahl an FPA-FX2TV und FPA-FX7TV Retikeln zur präzisen Strukturierung sowie eine breite Palette von Einbau- und Oberflächenausrichtungssystemen wie dem Dual-D Quadra-D Optive und dem Sharp-Shoot-System. FPA 5510 ist eine vollautomatische Einheit und verfügt über eine mikroprozessorgesteuerte Bedienmaschine, die einen effizienten und präzisen Betrieb gewährleistet. Es ist auch mit einem eingebauten Vision-Tool ausgestattet, das Objekte mit hoher Präzision erkennen und messen kann. Sein Controller verfügt über eine integrierte 2D-Messtechnik und seine Software über eine robuste Bildverarbeitungsfähigkeit. Darüber hinaus umfasst das 6-Achsen X-Y-Z Werkstückhandhabungsmodell zwei Schaltplatten, zwei Drehungen und zwei Neigungswinkel. CANON FPA 5510\s Software ist kompatibel mit einer breiten Palette von Wafer Fab Automatisierungssystemen, so dass es mit einer Vielzahl von Prozesssystemen und Ausrüstungen Schnittstelle. Die Software kann es dem Gerät ermöglichen, auf mehreren Wafern gleichzeitig zu verarbeiten, und seine Systemkonfiguration kann leicht an die Bedürfnisse verschiedener lithographischer Aufträge angepasst werden. FPA 5510 hat ein kompaktes, leichtes Design, das sehr stabil, vibrationsfrei ist und maximale Kompatibilität mit der Umgebung des Benutzers bietet. Es verfügt über eingebauten Schutz gegen elektrostatische Entladung und hohe Partikelfiltrationswerte, zwei luftgekühlte Motoren und eingebaute Sicherheitsmerkmale. CANON FPA 5510 ist ein hochentwickelter Wafer-Stepper und ideal für alle Mikrofabrikations- oder hochpräzise Lithographieprojekte. Seine hohe Auflösung, Genauigkeit und Durchsatzleistung sowie seine erweiterten Funktionen machen es zu einer außergewöhnlichen Wahl für alle Anforderungen an die Waferverarbeitung.