Gebraucht CANON FPA 5550 iZ #293817793 zu verkaufen
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ID: 293817793
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57
Resolution: ≤350 nm
DCO: 45.
CANON FPA 5550 iZ ist ein hochentwickelter Wafer-Stepper, der für anspruchsvolle Mikrolithographieverfahren entwickelt wurde. Dieser hochmoderne Stepper bietet eine hervorragende Bildgebungsfähigkeit und eine hervorragende Gerät-zu-Gerät-Gleichmäßigkeit. Er gewährleistet eine präzise Ausrichtung der Wafer mit seiner proprietären, hochpräzisen Ausrichtausrüstung. Der Stepper kann präzise belichten und Bildmuster auf Halbleiter und andere Bauelemente zur hochgenauen Herstellung von Bauelementen. Es ist für die Hochgeschwindigkeitsproduktion von ultra-großen Substraten konzipiert, die einen beispiellosen Durchsatz und Produktivität gewährleisten. Es bietet eine überlegene Auflösung mit einer minimalen Schärfe von 0,6 μ m und einer Gleichmäßigkeitsauflösung von 0,5 μ m. Mit seinem einzigartigen Halo-Beleuchtungssystem und dem fortschrittlichen automatischen Ausblendmechanismus gewährleistet es eine genaue Platzierung und lithographische Gleichmäßigkeit für die Maskierung. Der Stepper unterstützt mehrere Bildgebungstechnologien, darunter Mehrwellenlängenbelichtung und mehrstufige Selbstbelichtung. Es unterstützt auch spezielle wiederholbare Fokusfunktionen, die eine genaue Fokussierung innerhalb verschiedener Substrate und Dünnschicht verschiedener Dicken ermöglichen. Mit seiner 'XYZ Lens Tuning Function' sorgt er für eine präzise Fokussierung und verbessert die Genauigkeit der Bildgebung weiter. Die optimierte mehrstufige Vakuumzuführeinheit sorgt für eine reibungslose, effiziente und präzise Bewegung der Wafer. Es bietet auch ausgezeichnete Hochleistungsnachrichtenfähigkeiten, mit an Daten übertragen Geschwindigkeit von bis zu 3,5 MB/s. Seine proprietäre, hochpräzise Musteranpassungsmaschine gewährleistet eine präzise Anpassung von Mustern zwischen Masken und Substraten, um eine perfekte Gerät-zu-Gerät-Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt diese moderne Ausrüstung auch über einen hochauflösenden Roboter zur Handhabung und Positionierung von Wafern. Der Stepper ist für eine einfache Wartung ausgelegt und kann einfach in verschiedene Produktionslinien integriert werden. Seine fortschrittlichen Betriebsfähigkeiten machen es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich Fotografie, Mikroelektronik, medizinische Geräte, Mikromechanik und Luft- und Raumfahrt. Kurz gesagt, FPA 5550 iZ ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der hervorragende Ergebnisse liefert und die Genauigkeit in anspruchsvollen Lithographie-Prozessen gewährleistet.
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