Gebraucht CANON FPA 6000 AS4 #293752739 zu verkaufen
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ID: 293752739
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
ArF Scanner, 8"
CYMER Laser
CYMER Chamber (MO/PA) non-functional
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
Stage leak
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4 ist ein Wafer-Stepper für den Einsatz in Musteranwendungen in einer Reihe von Branchen. Es verfügt über einen großen Schritttisch, der eine genaue Ausrichtung der Substratscheiben ermöglicht. Der Stepper umfasst eine fortgeschrittene Luftlagerstufe, die eine flache, gleichmäßige Ebene für Wafer-Muster bietet, auf die projiziert werden soll. Mit einer Hochleistungs-Projektionsoptik ist die Maschine in der Lage, eine hochpräzise Bildauflösung bei der Herstellung von lithographischen Masken zu liefern. Die Scaneinheit FPA 6000 AS4 reduziert Fehlstellungen. Die patentierte „Sync-Scanning“ -Funktion sorgt für eine enge Synchronisation zwischen der Maske und dem Wafer und bietet eine hervorragende Bildgenauigkeit. Die Maschine ist weiter mit CANON Advanced Digital Filter Processing (DF) Technologie zur Erkennung und Minderung von Leckstrahlung ausgestattet. Dies sorgt für höchste Mustergenauigkeit für fortgeschrittene Optoelektronik-Anwendungen. Der Stepper ist mit einem automatisierten Ausrichtsystem ausgestattet, das die optimale Ausrichtung schnell und präzise lokalisiert. Diese Einheit trägt dazu bei, dass sich Masken perfekt ausrichten, wodurch Produktionszeit und Kosten gespart werden. Eine eingebaute Messmaschine hilft bei der Erkennung von Überlappungen und erzeugt in kürzerer Zeit genauere Ergebnisse. CANON FPA 6000 AS4 verfügt über ein wartungsarmes Design, das die Verfügbarkeit maximiert. Der Stepper kann bis zu 24 Stunden am Tag betrieben werden und verfügt über einen flexiblen Betriebsplaner, der die Produktion effizient und reibungslos am Laufen hält. Eine Vielzahl von Wartungstools, wie ein KI-basiertes Tool, das Unregelmäßigkeiten erkennt und Fehler meldet, trägt außerdem dazu bei, einen reibungslosen Betrieb sicherzustellen. FPA 6000 AS4 enthält außerdem eine Reihe von Funktionen zur Erhöhung der Sicherheit. SafeMode stellt sicher, dass die Produktion nur während vordefinierter Zeitrahmen erfolgt, wodurch die Betriebssicherheit erhöht und das Risiko von Störungen beseitigt wird. Schließlich ist der Stepper mit einem Filterersatzwarngerät ausgestattet, das vor dem Eindringen von Staubpartikeln in das Modell schützt. Insgesamt ist CANON FPA 6000 AS4 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für hohe Genauigkeit und Präzision bei Musteranwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine lufttragende Bühne, fortschrittliche Bildprojektion, Sync-Scanning, integrierte Ausrichtungsausrüstung, wartungsarmes Design und Sicherheitsfunktionen, so dass es hervorragende Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen liefern kann.
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