Gebraucht CANON FPA 6000 AS4 #293752740 zu verkaufen
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ID: 293752740
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Argon Fluoride (ArF) scanner, 8"
CYMER Laser
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
Non-functional parts:
CYMER Chamber (MO / PA)
Reticle changer robot arm
Reticle pre-align stage
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4 ist eine fortschrittliche, automatisierte Wafer-Stepper-Ausrüstung, die Luftbildprojektion und hochgenaue Ausrichtung verwendet, um einen extrem hohen Durchsatz und extrem präzise Photolithographieergebnisse zu erzielen. Es ist für die Vollserienproduktion in der Halbleiterindustrie konzipiert, einschließlich Mikroprozessoren und ICs. FPA 6000 AS4 verfügt über eine hochkompakte Systemstruktur, die den Durchsatz verbessert und den Platzbedarf im Vergleich zu früheren Modellen reduziert. Der integrierte AS4 Ausrichtungsschritt- und Mustersimulator sorgt für eine hochgenaue Ausrichtung, die eine präzise Ausrichtung der Musterposition und Fokussierung in allen Bereichen des Wafers ermöglicht. Der automatisierte Stepper ist in der Lage, die Versatzstellen im gesamten Wafer mit hoher Genauigkeit zu erkennen. Dies erhöht die Genauigkeit und Gesamtausbeute des Geräts, insbesondere für integrierte Schaltungen mit kleiner Steigung. Die Maschine ist mit dem modernsten CAP-Aktivierungswerkzeug CANON ausgestattet, was den Energieverbrauch von Photolithographie-Prozessen deutlich reduziert und damit Ausfallzeiten erzielen kann. Die CAP-Aktivierung wurde speziell entwickelt, um die Vorbelichtungszeit zu reduzieren, was einen schnelleren Durchsatz und eine höhere Produktionskapazität ermöglicht. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem fortschrittlichen Tower Shifting Modell ausgestattet, das Informationen zur Messung der Waferdicke verwendet, um die Abbildungsoptik automatisch zu schalten. Mit dieser Ausrüstung ist CANON FPA 6000 AS4 in der Lage, verschiedene Waferdicken aufzunehmen, seine bildgebenden Fähigkeiten und Druckqualität zu optimieren. FPA 6000 AS4 ist zudem mit einer Reihe zusätzlicher Funktionen ausgestattet, um den Durchsatz zu maximieren und die Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu verbessern. Sein RC-Registrierungssystem fördert ein hohes Maß an Registrierung zwischen den nacheinander erzeugten Mustern, wodurch eine außergewöhnlich hohe Musterreproduzierbarkeit gewährleistet ist. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe von eingebauten Reglern und Sensoren, wie Wafer-Positionssensoren und AFD-Sensoren zur präzisen Bewegungssteuerung. Dies trägt dazu bei, dass der gemusterte Wafer korrekt und fehlerfrei abgebildet wird. Schließlich bietet der bedienerfreundliche Controller der Maschine dem Bediener eine voll steuerbare grafische Benutzeroberfläche, die den Einrichtungs- und Bedienprozess vereinfacht. Darüber hinaus bietet CANON FPA 6000 AS4 eine Reihe von Softwareoptionen, mit denen Benutzer verschiedene Parameter wie Typ, Anzahl, Größe und Auflösung von Mustern anpassen können. Damit eignet sich das Werkzeug für eine Vielzahl von Photolithographie-Prozessen und bietet maximale Kontrolle und Flexibilität bei der Produktion.
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